টেফলন প্রলেপযুক্ত সিরামিক এন্ড ইফেক্টর – সংবেদনশীল ওয়েফার হ্যান্ডলিংয়ের জন্য নন-স্টিক পৃষ্ঠ

সেন্ট সেরার টেফলন (PTFE) প্রলেপযুক্ত সিরামিক এন্ড এফেক্টর একটি উচ্চ-শক্তির অ্যালুমিনা সাবস্ট্রেটের সাথে একটি সুষম, কম-ঘর্ষণযুক্ত PTFE প্রলেপকে (বেধ ১৫–৩০ μm) একত্রিত করে। এই প্রলেপটি অত্যন্ত কম ঘর্ষণ সহগ (≤০.১), চমৎকার রাসায়নিক প্রতিরোধ ক্ষমতা এবং নন-স্টিক বৈশিষ্ট্য প্রদান করে, যা ওয়েফারের লেগে যাওয়া প্রতিরোধ করে এবং পেছনের দিকের দূষণ দূর করে। এর নিচের সিরামিক সাবস্ট্রেট (৯৯.৮% Al₂O₃) উচ্চ ফ্লেক্সারাল শক্তি (৩৬১–১০০০ MPa), ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা এবং ২৬০°C পর্যন্ত (আবরণের সর্বোচ্চ সীমা) তাপীয় স্থিতিশীলতা প্রদান করে। এই এন্ড এফেক্টরটি নাজুক, পাতলা বা আঠালো ওয়েফার (যেমন, ফটোরেজিস্ট প্রলেপ বা রাসায়নিক প্রক্রিয়ার পরে) পরিচালনা করার জন্য আদর্শ।

স্পেসিফিকেশন (PTFE প্রলেপযুক্ত ৯৯.৮% Al₂O₃ সাবস্ট্রেটের উপর ভিত্তি করে):

দ্রষ্টব্য: PTFE কোটিং সর্বোচ্চ তাপমাত্রা ২৬০°C-এ সীমাবদ্ধ করে; এর চেয়ে বেশি তাপমাত্রার প্রয়োগের জন্য, কোটিংবিহীন সিরামিক বা অন্যান্য কোটিং বিবেচনা করুন।

প্রয়োগসমূহ:

• ফটোরেজিস্ট কোটিং করার পর ওয়েফার পরিচালনা (আঠালো পৃষ্ঠতল)
• পাতলা বা ভঙ্গুর ওয়েফার স্থানান্তর (আটকে যাওয়া প্রতিরোধ করে)
• সেমিকন্ডাক্টর পরিদর্শন এবং মেট্রোলজি সরঞ্জাম
• ক্লিনরুম অটোমেশন, যেখানে কণা দূষণ অবশ্যই ন্যূনতম পর্যায়ে রাখতে হবে।

উৎপাদন প্রক্রিয়া:

সিরামিক সাবস্ট্রেট সিন্টারিং এবং প্রিসিশন গ্রাইন্ডিং → সারফেস রাফেনিং (প্লাজমা এচ বা গ্রিট ব্লাস্ট) → পিটিএফই স্প্রে কোটিং → ৩৮০° সেলসিয়াসে হিট কিউরিং → চূড়ান্ত পরিদর্শন। প্রতিটি এন্ড ইফেক্টরের কোটিং-এর পুরুত্ব (এডি কারেন্ট), অ্যাডহেশন (ক্রস-কাট টেস্ট ASTM D3359) এবং ঘর্ষণ সহগ পরীক্ষা করা হয়।

গুণমান নিয়ন্ত্রণ:

পিনহোল বা বুদবুদের জন্য ১০০% চাক্ষুষ পরিদর্শন; ±৫ μm-এর মধ্যে আবরণের পুরুত্বের সমরূপতা; উইটনেস কুপনে ৯০° বাঁকানোর পরীক্ষার পর কোনো স্তরবিচ্ছিন্নতা নেই। OEM টলারেন্স অনুযায়ী মাত্রিক পরীক্ষা (দৈর্ঘ্য ±০.০৫ মিমি, সমতলতা ≤০.১ মিমি)।

প্রলেপহীন বা অন্যান্য প্রলেপের তুলনায় সুবিধাসমূহ:

• · নন-স্টিক পৃষ্ঠ ওয়েফার আটকে যাওয়া এবং ভেঙে যাওয়া প্রতিরোধ করে।
• সিরামিক আবরণগুলির মধ্যে সর্বনিম্ন ঘর্ষণ সহগ
• · চমৎকার রাসায়নিক প্রতিরোধ ক্ষমতা (অ্যাসিড, ক্ষার, দ্রাবক)
• পদার্থের স্থানান্তর রোধ করে কণা উৎপাদন হ্রাস করে।

সীমাবদ্ধতা (উপাদানের বিচ্যুতির উপর মন্তব্য):

PTFE কোটিংটি প্রদত্ত উপাদান বৈশিষ্ট্য সারণী (Al₂O₃, ZrO₂, Si₃N₄, BeO) থেকে নেওয়া হয়নি। সাবস্ট্রেটের বৈশিষ্ট্যগুলো সরবরাহকৃত ডেটাশিট (৯৯.৮% Al₂O₃) কঠোরভাবে অনুসরণ করে। যেহেতু কোটিং সম্পর্কিত কোনো ডেটা সরবরাহ করা হয়নি, তাই কোটিংয়ের বৈশিষ্ট্যগুলো শিল্প-মানসম্মত PTFE স্পেসিফিকেশনের উপর ভিত্তি করে নির্ধারণ করা হয়েছে। ২৬০°C-এর বেশি তাপমাত্রার প্রয়োগের জন্য, একটি কোটিংবিহীন সিরামিক এন্ড এফেক্টর ব্যবহারের সুপারিশ করা হয়।*

কাস্টমাইজেশন:

১৫০–১৫০০ মিমি দৈর্ঘ্যে, অগ্রভাগের বিভিন্ন আকৃতিতে (এজ গ্রিপ, বার্নোলি, ফ্ল্যাট) এবং OEM ড্রয়িং অনুযায়ী মাউন্টিং ফ্ল্যাঞ্জ প্যাটার্নে উপলব্ধ। আংশিক কোটিং (শুধুমাত্র সংস্পর্শিত স্থানে) অথবা সম্পূর্ণ আবরণ ঐচ্ছিক।

আসঞ্জন এবং ঘর্ষণ পরীক্ষার জন্য একটি নমুনা চেয়ে পাঠান।