বাঁকা ও পাতলা ওয়েফার হ্যান্ডলিংয়ের জন্য মেটাল-ব্যাকড ছিদ্রযুক্ত SiC ভ্যাকুয়াম চাক

সেন্ট সেরার মেটাল-ভিত্তিক সিরামিক ভ্যাকুয়াম চাক একটি ছিদ্রযুক্ত সিলিকন কার্বাইড (SiC) সিরামিক স্তরকে একটি নির্ভুলভাবে মেশিন করা ধাতব ভিত্তির (অ্যালুমিনিয়াম বা স্টেইনলেস স্টিল) সাথে সংযুক্ত করে। ছিদ্রযুক্ত SiC উপাদানটি (নীল-কালো, ছিদ্রতা ৩৫-৪০%, ছিদ্রের আকার ২০-৩০ μm, ভেদ্যতা ৬০ ml/cm²·min) পুরো ওয়েফার পৃষ্ঠ জুড়ে অভিন্ন ও মৃদু ভ্যাকুয়াম বিতরণ করে, যা প্রান্তের দাগ দূর করে এবং পাতলা (≤১০০ μm) বা বাঁকা ওয়েফারের জন্য স্পর্শবিহীন সাপোর্ট প্রদান করে। SiC স্তরটি কম তাপীয় প্রসারণ (৩.৫×১০⁻⁶/℃), ১০০০°C পর্যন্ত তাপীয় স্থিতিশীলতা এবং মাঝারি নমনীয় শক্তি (৩২-৩৫ MPa) প্রদান করে। ধাতব ভিত্তিটি কাঠামোগত দৃঢ়তা যোগ করে, প্যাঁচযুক্ত ছিদ্রের মাধ্যমে সহজে স্থাপন করা যায় এবং ভঙ্গুর ভাঙন থেকে সুরক্ষা প্রদান করে। এই চাকটি ব্যাকসাইড গ্রাইন্ডিং, ডাইসিং এবং উচ্চ-তাপমাত্রার ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণের জন্য আদর্শ, যেখানে অভিন্ন ভ্যাকুয়াম এবং তাপীয় সামঞ্জস্য অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ।

স্পেসিফিকেশন (সরবরাহকৃত ছিদ্রযুক্ত SiC ডেটার উপর ভিত্তি করে):

দ্রষ্টব্য: ছিদ্রযুক্ততার কারণে এর নমন শক্তি ঘন SiC-এর চেয়ে কম। ধাতব ভিত্তির বৈশিষ্ট্যগুলো সিরামিক সারণি থেকে নেওয়া হয়নি।

প্রয়োগসমূহ:

• · পাতলা ওয়েফারের (≤১০০ μm) পশ্চাৎভাগের গ্রাইন্ডিং
• ডাইসিংয়ের জন্য ওয়ার্পড ওয়েফার মাউন্টিং
• · উচ্চ-তাপমাত্রায় ওয়েফার চাকিং (১০০০°C পর্যন্ত)
• ছিদ্রযুক্ত বা ভঙ্গুর পৃষ্ঠতলের জন্য ভ্যাকুয়াম ফিক্সচারিং

উৎপাদন:

ছিদ্রযুক্ত SiC প্লেট (ছিদ্র সৃষ্টিকারী উপাদান দিয়ে তৈরি ও সিন্টার করা) → ১০ মাইক্রোমিটার বা তার কম সমতলতা পর্যন্ত ল্যাপ করা → ভ্যাকুয়াম পোর্ট এবং মাউন্টিং বৈশিষ্ট্যসহ ধাতব ভিত্তি মেশিনিং করা → ইপোক্সি বন্ধন বা যান্ত্রিক ক্ল্যাম্পিং → হিলিয়াম লিক পরীক্ষা।

গুণমান নিয়ন্ত্রণ:

• SEM দ্বারা ছিদ্রতা এবং ছিদ্রের আকার যাচাই করা হয়েছে
• · ভেদ্যতা পরীক্ষা (বায়ু প্রবাহ)
• লেজার ইন্টারফেরোমিটার দিয়ে পরিমাপ করা সমতলতা
• · হিলিয়াম লিকের হার <1×10⁻⁹ Pa·m³/s

খাঁজযুক্ত বা ঘন সিরামিক চাকের তুলনায় সুবিধাগুলি:

• · ওয়েফারে কোনো দাগ নেই – বিচ্ছিন্ন ছিদ্র ছাড়া অভিন্ন ভ্যাকুয়াম
• · স্বয়ংক্রিয়ভাবে পরিষ্কার হওয়া লোমকূপ – লোমকূপ বন্ধ হওয়া কমায়
• · বাঁকা ওয়েফার (৫০০ মাইক্রোমিটার পর্যন্ত বাঁক) সামলাতে পারে
• ধাতব ভিত্তি ভঙ্গুর ভাঙন প্রতিরোধ করে এবং সংযোজন সহজ করে।

সীমাবদ্ধতা:

• · কম নমন শক্তি (৩২–৩৫ এমপিএ) – অভিঘাত লোডিং পরিহার করুন
• · কার্যকরী তাপমাত্রা 1000°C (ছিদ্রযুক্ত SiC)-এর মধ্যে সীমাবদ্ধ, কিন্তু ধাতব-ভিত্তিক ইপোক্সি বন্ধনের জন্য তাপমাত্রা ≤200°C পর্যন্ত সীমাবদ্ধ, যদি না যান্ত্রিকভাবে আটকানো থাকে।
• উচ্চ-চাপের ভ্যাকুয়ামের জন্য নয় (ছিদ্রযুক্ত কাঠামো সর্বোচ্চ ভ্যাকুয়াম ডিফারেনশিয়ালকে সীমিত করে)

কাস্টমাইজেশন:

• · ধাতব ভিত্তি: অ্যালুমিনিয়াম (হালকা), স্টেইনলেস স্টিল (ক্ষয়-প্রতিরোধী), ইনভার (কম প্রসারণশীল)
• · বন্ধন: ইপোক্সি (≤২০০°সে) অথবা যান্ত্রিক ক্ল্যাম্প (৫০০°সে পর্যন্ত)
• জোন ভ্যাকুয়াম নিয়ন্ত্রণের জন্য প্রান্ত সিলিং রিং

অনুগ্রহ করে লক্ষ্য করুন: ছিদ্রযুক্ততার কারণে সরবরাহকৃত ফ্লেক্সারাল স্ট্রেংথ (৩২–৩৫ এমপিএ) ঘন সিরামিকের তুলনায় উল্লেখযোগ্যভাবে কম। ধার ভেঙে যাওয়া এড়াতে সাবধানে ব্যবহার করুন।