পৃষ্ঠা_ব্যানার

সেমিকন্ডাক্টর প্রসেস ফিক্সচারের জন্য সিরামিক সাপোর্টিং পিন

সেমিকন্ডাক্টর প্রসেস ফিক্সচারের জন্য সিরামিক সাপোর্টিং পিন

সংক্ষিপ্ত বিবরণ:

সেন্ট সেরার সিরামিক সাপোর্টিং পিন (যা লিফট পিন বা সাপোর্ট পিন নামেও পরিচিত) সেমিকন্ডাক্টর প্রসেস চেম্বারে হ্যান্ডলিং, হিটিং বা কুলিং-এর সময় ওয়েফার বা সাবস্ট্রেটকে উপরে তোলার জন্য ব্যবহৃত হয়। ৯৯.৮% অ্যালুমিনা বা সিলিকন নাইট্রাইড থেকে তৈরি এই পিনগুলো উচ্চ সংকোচন শক্তি, তাপীয় স্থিতিশীলতা এবং রাসায়নিক প্রতিরোধ ক্ষমতা প্রদান করে। এর অর্ধগোলাকার বা চ্যাপ্টা অগ্রভাগের নকশা ওয়েফারে আঁচড় পড়া প্রতিরোধ করে।


পণ্যের বিবরণ

পণ্যের ট্যাগ

সেন্ট সেরার সিরামিক সাপোর্টিং পিন (যা লিফট পিন বা সাপোর্ট পিন নামেও পরিচিত) সেমিকন্ডাক্টর প্রসেস চেম্বারে হ্যান্ডলিং, হিটিং বা কুলিং-এর সময় ওয়েফার বা সাবস্ট্রেটকে উপরে তোলার জন্য ব্যবহৃত হয়। ৯৯.৮% অ্যালুমিনা বা সিলিকন নাইট্রাইড থেকে তৈরি এই পিনগুলো উচ্চ সংকোচন শক্তি, তাপীয় স্থিতিশীলতা এবং রাসায়নিক প্রতিরোধ ক্ষমতা প্রদান করে। এর অর্ধগোলাকার বা চ্যাপ্টা অগ্রভাগের নকশা ওয়েফারে আঁচড় পড়া প্রতিরোধ করে।

 

স্পেসিফিকেশন(অ্যালুমিনা ৯৯.৮%):

সম্পত্তি মূল্য
উপাদান ৯৯.৮% Al₂O₃ অথবা Si₃N₄
দৈর্ঘ্য ১০ – ১০০ মিমি
ব্যাস ১ – ১০ মিমি
টিপের আকৃতি চ্যাপ্টা, অর্ধগোলাকার, সূচালো
সংকোচন শক্তি (Al₂O₃) ২০০০ মেগাপ্যাসকেল
সর্বোচ্চ কার্যকরী তাপমাত্রা (Al₂O₃) ১৬০০°সে
পৃষ্ঠতল ফিনিশ ল্যাপড (Ra ≤0.4 μm)
ব্যাসের সহনশীলতা ±০.০১ মিমি

 

প্রয়োগসমূহ:

CVD/PVD চেম্বারে লিফট পিন

হটপ্লেট বেকিংয়ের জন্য সাপোর্ট পিন

প্রোব কার্ড সমর্থন কাঠামো

কোয়ার্টজ চুল্লি নৌকা সমর্থন

 

উৎপাদন:

বহিঃস্থ ব্যাসের নির্ভুল সেন্টারলেস গ্রাইন্ডিং → অগ্রভাগের প্রোফাইলের ডায়মন্ড গ্রাইন্ডিং → আল্ট্রাসনিক ক্লিনিং → শতভাগ মাত্রিক পরিদর্শন।

 

গুণমান নিয়ন্ত্রণ:

দৈর্ঘ্য/ব্যাস পরিমাপের জন্য সিএমএম, অগ্রভাগের ব্যাসার্ধ নির্ণয়ের জন্য অপটিক্যাল কম্পারেটর, সংকোচন শক্তি যাচাইয়ের জন্য লোড টেস্টিং (প্রতি লট থেকে দৈবচয়ন পদ্ধতিতে নমুনা)। কোনো ফেরোম্যাগনেটিক দূষণ নেই (চুম্বক দিয়ে যাচাই করা হয়েছে)।

 

ধাতু বা কোয়ার্টজ পিনের তুলনায় সুবিধাসমূহ:

স্টেইনলেস স্টিলের চেয়ে ৫ গুণ বেশি দীর্ঘস্থায়ী

প্রসেস চেম্বারে কোনো ধাতব দূষণ নেই

কোয়ার্টজের চেয়ে উচ্চতর তাপমাত্রা ধারণ ক্ষমতা (১৬০০°সে বনাম ১১০০°সে)

নন-স্টিক পৃষ্ঠতল (কণার আসঞ্জন হ্রাস)

 

কাস্টমাইজেশন:

একাধিক অগ্রভাগের আকৃতি, প্যাঁচযুক্ত ভিত্তি, অথবা ক্রমশ সরু হয়ে আসা দণ্ড।

 

আমরা চরম প্লাজমা পরিবেশের জন্য SiC পিনও সরবরাহ করি।


  • পূর্ববর্তী:
  • পরবর্তী: