CVD/PVD শাওয়ারহেডের জন্য অ্যালুমিনা গ্যাস বিতরণ প্লেট
সেন্ট সেরার গ্যাস ডিস্ট্রিবিউশন প্লেট (শাওয়ারহেড) উচ্চ-বিশুদ্ধ ৯৯.৮% অ্যালুমিনা সিরামিক থেকে নিখুঁতভাবে মেশিনিং করে তৈরি করা হয়। এতে ০.৩–১.৫ মিমি ব্যাসের অসংখ্য মাইক্রো-ছিদ্র রয়েছে, যা CVD, PVD বা ALD প্রক্রিয়ার সময় ওয়েফারের পৃষ্ঠ জুড়ে গ্যাসের সুষম প্রবাহ নিশ্চিত করে। প্লেটটির উচ্চ ডাইইলেকট্রিক স্ট্রেংথ (>১৫×১০⁶ V/m) এবং প্লাজমা রেজিস্ট্যান্স এটিকে সেমিকন্ডাক্টর থিন-ফিল্ম ডিপোজিশনের জন্য অপরিহার্য করে তোলে।
স্পেসিফিকেশন:
| সম্পত্তি | মূল্য |
| উপাদান | ৯৯.৮% Al₂O₃ বা SiC |
| ব্যাস | ১০০ – ১৫০০ মিমি (গোলাকার) অথবা আয়তাকার |
| পুরুত্ব | ৫ – ২০ মিমি |
| গর্তের ব্যাস | ০.৩ – ১.৫ মিমি |
| ছিদ্রের নকশা | কাস্টম (ত্রিভুজাকার, বর্গাকার, বৃত্তাকার) |
| সমতলতা | সম্পূর্ণ এলাকা জুড়ে ≤১০ μm |
| পৃষ্ঠের অমসৃণতা | Ra ≤0.6 μm (গ্যাসীয় দিক) |
| খোলা জায়গার অনুপাত | ৫–১৫% |
প্রয়োগসমূহ:
PECVD শাওয়ারহেড প্লেট
ALD গ্যাস ইনজেক্টর
এচ চেম্বার গ্যাস বিতরণ প্লেট
MOCVD রিয়্যাক্টরের উপাদানসমূহ
উৎপাদন:
অ্যালুমিনা সাবস্ট্রেটকে ল্যাপ করে সমতল করা → ডায়মন্ড-কোটেড টুল দিয়ে সিএনসি ড্রিলিং (ছিদ্রের অবস্থানের সহনশীলতা ±০.০২ মিমি) → ডিবারিং → আল্ট্রাসনিক ক্লিনিং → ক্লাস ১০০ প্যাকেজিং।
গুণমান নিয়ন্ত্রণ:
প্রতিটি প্লেটের ছিদ্রের আকার (ভিশন সিস্টেম), সমতলতা (লেজার ইন্টারফেরোমিটার) এবং গ্যাস প্রবাহের সমরূপতা (প্রেশার ম্যাপিং) শতভাগ পরীক্ষা করা হয়। ২০x মাইক্রোস্কোপের নিচে কোনো ক্ষুদ্র ফাটল দেখা যায় না।
ধাতব পাতের তুলনায় সুবিধাসমূহ:
পাতলা ফিল্মে কোন ধাতব দূষণ নেই
কম কণা উৎপন্ন হয় (ক্ষয়জনিত ফ্লেক্স নেই)
ক্ষতিকর ক্লিনিং প্লাজমা (CF₄, NF₃) প্রতিরোধ করে।
কাস্টম বৈশিষ্ট্য:
পশ্চাৎভাগের গ্যাস চ্যানেল, কাউন্টার-বোর করা গর্ত, প্রান্তের সিল এবং বিভিন্ন গ্রেডের উপাদান (উচ্চতর তাপ পরিবাহিতার জন্য SiC, প্লাজমা প্রতিরোধের জন্য Y₂O₃ কোটিং)।
আমরা উৎপাদনের পূর্বে ক্যাড যাচাইকরণ এবং প্রবাহ সিমুলেশন প্রদান করি।
