৩০০ মিমি ওয়েফার প্রসেসিংয়ের জন্য ১২-ইঞ্চি অ্যালুমিনা ভ্যাকুয়াম চাক

সেন্ট সেরার ১২-ইঞ্চি ভ্যাকুয়াম চাকটি ৩০০ মিমি ওয়েফার হ্যান্ডলিংয়ের জন্য ৯৯.৮% উচ্চ-বিশুদ্ধ অ্যালুমিনা (Al₂O₃) দিয়ে নিখুঁতভাবে তৈরি করা হয়েছে। চাকটির একটি সূক্ষ্ম খাঁজযুক্ত পৃষ্ঠ (খাঁজের প্রস্থ ০.৫–১.০ মিমি, পিচ ২–৩ মিমি) রয়েছে, যা সম্পূর্ণ ৩০০ মিমি ব্যাস জুড়ে ভ্যাকুয়ামের সুষম বণ্টন নিশ্চিত করে। এর সমতলতা ৫ মাইক্রোমিটারের মধ্যে বজায় থাকে, যা ডাইসিং, ব্যাকসাইড গ্রাইন্ডিং এবং ইন্সপেকশনের সময় ওয়েফারকে বেঁকে যাওয়া ছাড়াই স্থির রাখতে সাহায্য করে। উপাদানটির উচ্চ ফ্লেক্সারাল স্ট্রেংথ (৩৬১ এমপিএ) এবং হার্ডনেস (১৬ জিপিএ) বারবার ভ্যাকুয়াম ব্যবহারের পরেও দীর্ঘমেয়াদী ডাইমেনশনাল স্ট্যাবিলিটি নিশ্চিত করে।

স্পেসিফিকেশন (৯৯.৮% Al₂O₃ এর উপর ভিত্তি করে):

প্রয়োগসমূহ:

৩০০ মিমি ওয়েফার ডাইসিং এবং স্ক্রাইবিং
ওয়েফারের পিছনের দিক গ্রাইন্ডিং (পাতলা ওয়েফার সাপোর্ট)
আলোকীয় পরিদর্শন এবং অনুসন্ধান
অস্থায়ী বন্ধন/বিচ্ছিন্নকরণ চাক

উৎপাদন:

চূড়ান্ত সমতলতা নিশ্চিত করতে সিএনসি গ্রাইন্ডিং ও ল্যাপিং করা হয়, ডায়মন্ড হুইল দিয়ে গ্রুভ তৈরি করা হয়, আল্ট্রাসনিক পদ্ধতিতে পরিষ্কার করা হয় এবং ক্লাস ১০০ ক্লিনরুমে প্যাকেজ করা হয়। প্রতিটি চাকের সমতলতা (লেজার ইন্টারফেরোমিটার) এবং গ্রুভের গভীরতা (প্রোফাইলোমিটার) শতভাগ পরিদর্শন করা হয়।

সুবিধাগুলি:

কম কণা উৎপাদন (≤০.০৫ কণা/সেমি²)

 দ্রাবক ও অ্যাসিডের প্রতি রাসায়নিকভাবে নিষ্ক্রিয়

ESD-নিরাপদ পৃষ্ঠতল (রোধাঙ্ক >10¹³ Ω·cm)

কাস্টম ভ্যাকুয়াম হোল প্যাটার্ন এবং পেছনের পোর্ট উপলব্ধ।