পাতলা ওয়েফার হ্যান্ডলিংয়ের জন্য অ্যালুমিনা-ভিত্তিক ছিদ্রযুক্ত সিরামিক ভ্যাকুয়াম চাক

সেন্ট সেরার অ্যালুমিনা-ভিত্তিক ছিদ্রযুক্ত চাকটি ৯৯.৬% উচ্চ-বিশুদ্ধ Al₂O₃ থেকে তৈরি করা হয়, যার ৩০-৪৫% পর্যন্ত নিয়ন্ত্রিত খোলা ছিদ্রতা এবং ১০ থেকে ৫০ μm পর্যন্ত সুষম ছিদ্রের আকার রয়েছে। খাঁজকাটা চাকের বিপরীতে, এর ছিদ্রযুক্ত পৃষ্ঠটি ওয়েফারের পেছনের পুরো অংশ জুড়ে ভ্যাকুয়াম বিতরণ করে, যা প্রান্তে দাগ পড়া রোধ করে এবং অতি-পাতলা (≤১০০ μm) বা বাঁকা ওয়েফারকে আলতোভাবে ধরে রাখতে সক্ষম করে। এই উপাদানটি ≥২৫০ MPa নমন শক্তি এবং বাতাসে ৪০০°C পর্যন্ত তাপীয় স্থিতিশীলতা প্রদান করে।

স্পেসিফিকেশন(৯৯.৬% অ্যালুমিনিয়ামের উপর ভিত্তি করে)₂O₃):

প্রয়োগসমূহ:

• · পাতলা ওয়েফার (≤৫০ μm) এর পিছনের দিক গ্রাইন্ডিং
• ডাইসিংয়ের জন্য ওয়ার্পড ওয়েফার মাউন্টিং
• একক ডাই পিক-আপ
• · কাচের সাবস্ট্রেট পরিচালনা

উৎপাদন:

ছিদ্র সৃষ্টিকারী উপাদানের সাথে পাউডার মেশানো → আইসোস্ট্যাটিক প্রেসিং → ১৬০০°C তাপমাত্রায় সিন্টারিং → চূড়ান্ত পুরুত্বে ল্যাপিং। প্রতিটি চাকের ভ্যাকুয়াম সমরূপতা (চাপের বিচ্যুতি <৫%) নিশ্চিত করতে ফ্লো-টেস্ট করা হয় এবং ছিদ্রের আকার বন্টন (SEM) পরীক্ষা করা হয়।

প্রচলিত চকের তুলনায় সুবিধাসমূহ:

• · ওয়েফারের পেছনের দিকে কোনো চিহ্ন বা ডাই শিফট নেই
• ৫০০ মাইক্রোমিটার পর্যন্ত বাঁকযুক্ত ওয়েফার ধারণ করে।
• · স্ব-পরিষ্কারক পৃষ্ঠতল (ছিদ্রগুলি বন্ধ হওয়া প্রতিরোধ করে)
• · অভিন্ন সমর্থন স্থানীয় চাপ দূর করে

Cকাস্টমাইজেশন:

গোলাকার বা বর্গাকার আকৃতি, ব্যাস ১০০–৪৫০ মিমি। জোনভিত্তিক ভ্যাকুয়াম নিয়ন্ত্রণের জন্য প্রান্ত সিলিং রিং উপলব্ধ।

আপনার নির্দিষ্ট ওয়েফার সাইজের জন্য একটি নমুনা চেয়ে পাঠান।