বার্নোলি সিরামিক এন্ড এফেক্টর — পাতলা ও ভঙ্গুর ওয়েফারের জন্য স্পর্শবিহীন হ্যান্ডলিং

সেন্ট সেরার বার্নোলি সিরামিক এন্ড এফেক্টর অ্যারোডাইনামিক লিফট ব্যবহার করে কোনো রকম ভৌত সংস্পর্শ ছাড়াই ওয়েফার পরিচালনা করে। উচ্চ-বিশুদ্ধ ৯৯.৮% অ্যালুমিনা (Al₂O₃) বা সিলিকন কার্বাইড (SiC) থেকে নির্মিত এই যন্ত্রটিতে রয়েছে নিখুঁতভাবে তৈরি নজল, যা চাপযুক্ত গ্যাস নির্গত করে এন্ড এফেক্টর এবং ওয়েফারের মধ্যে একটি পাতলা বায়ুস্তর তৈরি করে। এই অ-সংস্পর্শ নীতিটি পেছনের দিকের দূষণ, প্রান্তের ভাঙন এবং পৃষ্ঠের ক্ষতি দূর করে, যা এটিকে পাতলা (≤১০০ μm), ভঙ্গুর বা বাঁকা ওয়েফারের জন্য আদর্শ করে তোলে। সিরামিক সাবস্ট্রেটটি উচ্চ ফ্লেক্সারাল শক্তি (Al₂O₃-এর জন্য ৩৬১ MPa; SiC-এর জন্য ৫৫০–৬০০ MPa পর্যন্ত), কম ভর এবং চমৎকার মাত্রিক স্থিতিশীলতা প্রদান করে, যা উচ্চ-গতির ওয়েফার ট্রান্সফার রোবটগুলিতে পুনরাবৃত্তিমূলক অবস্থান নিশ্চিত করে।

উপকরণ সংক্রান্ত টীকা:এর কাঠিন্য, বৈদ্যুতিক অন্তরক, রাসায়নিক স্থিতিশীলতা এবং সাশ্রয়ী মূল্যের চমৎকার সমন্বয়ের কারণে সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার হ্যান্ডলিং-এর সিরামিক এন্ড এফেক্টরের জন্য অ্যালুমিনা (Al₂O₃) সবচেয়ে বহুল ব্যবহৃত উপাদান। সিলিকন কার্বাইড (SiC) উচ্চতর তাপ পরিবাহিতা, উচ্চতর কাঠিন্য এবং সবচেয়ে চাহিদাপূর্ণ অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য আরও ভালো ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা প্রদান করে। যদিও ইট্রিয়া-স্থিতিশীল জিরকোনিয়া (ZrO₂) সাধারণ তাপমাত্রায় উচ্চ ফ্র্যাকচার টাফনেস প্রদান করে, তবে এর উচ্চ ঘনত্ব এবং ভিন্ন তাপীয় প্রসারণ বৈশিষ্ট্যের কারণে এই অ্যাপ্লিকেশনে এটি কম ব্যবহৃত হয়; তবে বিশেষ পরিস্থিতিতে যেখানে ব্যতিক্রমী ফ্র্যাকচার টাফনেস প্রয়োজন, সেখানে এটি বিবেচনা করা যেতে পারে। উপাদান নির্বাচন সংক্রান্ত নির্দেশনার জন্য অনুগ্রহ করে আমাদের কারিগরি দলের সাথে পরামর্শ করুন।

স্পেসিফিকেশন(৯৯.৮% অ্যালুমিনিয়ামের উপর ভিত্তি করে)₂O₃):

কার্যপ্রণালী:

সংকুচিত বায়ু বা নাইট্রোজেন (০.২–০.৬ MPa) অভ্যন্তরীণ চ্যানেলের মাধ্যমে সরবরাহ করা হয় এবং সূক্ষ্ম নজল দিয়ে নির্গত হয়। এই ত্বরান্বিত বায়ুপ্রবাহ এন্ড ইফেক্টরের উপরে একটি নিম্নচাপ অঞ্চল তৈরি করে (বার্নোলি প্রভাব), যা একটি উত্তোলনকারী বল উৎপন্ন করে এবং ওয়েফারটিকে ৫০–২০০ μm ব্যবধানে ধরে রাখে। কোনো ভ্যাকুয়াম হোল বা প্যাড ওয়েফারের পেছনের অংশের সংস্পর্শে আসে না।

প্রয়োগসমূহ:

• · পশ্চাৎভাগ গ্রাইন্ডিংয়ের পর পাতলা ওয়েফার (≤৫০ μm) পরিচালনা
• · বিকৃত ওয়েফার পরিবহন (যেমন, CVD বা অ্যানিলিং-এর পরে)
• সৌর কোষ এবং এলইডি স্যাফায়ার সাবস্ট্রেট স্থানান্তর
• · ক্লিনরুম অটোমেশন যার জন্য কোনো কণা উৎপন্ন হয় না
• ডিসপ্লে উৎপাদনে গ্লাস প্যানেল হ্যান্ডলিং

উৎপাদন প্রক্রিয়া:

উচ্চ-বিশুদ্ধ পাউডার থেকে সিন্টার করা সিরামিক সাবস্ট্রেট → গ্যাস চ্যানেল এবং নজল হোলের (ব্যাস ০.৩–১.০ মিমি, টলারেন্স ±০.০১ মিমি) ৫-অক্ষীয় সিএনসি মেশিনিং → Ra ≤০.৪ μm পর্যন্ত সারফেস ল্যাপিং → আলট্রাসনিক ক্লিনিং → হিলিয়াম লিক টেস্ট (গ্যাস চ্যানেল)। কোনো কোটিং-এর প্রয়োজন নেই — খালি সিরামিক পৃষ্ঠটি রাসায়নিকভাবে নিষ্ক্রিয় এবং দূষণমুক্ত।

গুণমান নিয়ন্ত্রণ:

• · নজলের অবস্থান, বাহুর দৈর্ঘ্য এবং সমতলতার শতভাগ মাত্রিক পরিদর্শন (CMM)
• · বায়ুপ্রবাহের সমরূপতা পরীক্ষা: সমস্ত নজল জুড়ে চাপের হ্রাস ≤৫%
• · লিক টেস্ট: গ্যাস চ্যানেলগুলি ০.৬ এমপিএ-তে সিল করা হয়েছে, ৩০ সেকেন্ড ধরে কোনও চাপ হ্রাস হয়নি।
• · ২০× মাইক্রোস্কোপের নিচে ক্ষুদ্র ফাটল বা বুরস-এর জন্য চাক্ষুষ পরিদর্শন

Aপ্রচলিত কন্টাক্ট এন্ড এফেক্টরের তুলনায় সুবিধাসমূহ:

• · ওয়েফারের পেছনের দিকে কোনো দূষণ নেই — কোনো যান্ত্রিক সংস্পর্শ নেই
• পাতলা ওয়েফারের কিনারা ভেঙে বা ফেটে যায় না
• · বাঁকা ওয়েফার (১ মিমি পর্যন্ত বাঁক) স্থিতিশীল ফাঁক রেখে পরিচালনা করে।
• ভ্যাকুয়াম জেনারেটর এবং পোরোরাস চাকের রক্ষণাবেক্ষণের প্রয়োজনীয়তা দূর করে।
• সিরামিক নির্মাণ ক্ষয় এবং রাসায়নিক আক্রমণ প্রতিরোধ করে।

কাস্টমাইজেশন:

• ২০০ মিমি, ৩০০ মিমি বা কাস্টম ওয়েফার সাইজের জন্য উপলব্ধ।
• · গ্যাস নজলের ধরন: সরল, কৌণিক, বা ঘূর্ণি ধরনের
• · উপকরণ: অ্যালুমিনা (প্রমিত) অথবা সিলিকন কার্বাইড (সর্বোচ্চ তাপ পরিবাহিতা এবং ক্ষয় প্রতিরোধের জন্য)
• OEM ড্রয়িং অনুযায়ী আর্মের দৈর্ঘ্য, মাউন্টিং ফ্ল্যাঞ্জ এবং গ্যাস পোর্টের অবস্থান

সীমাবদ্ধতা:

বার্নোলি নীতির প্রয়োগ (নজল ডিজাইন, এয়ার গ্যাপ) প্রদত্ত উপাদান বৈশিষ্ট্য সারণীর আওতার বাইরে। উপরের যান্ত্রিক এবং তাপীয় বৈশিষ্ট্যগুলো ৯৯.৮% Al₂O₃-এর জন্য সরবরাহকৃত ডেটাশিট কঠোরভাবে অনুসরণ করে। এই উপাদান বৈশিষ্ট্যগুলোর উপর ভিত্তি করে, চাপযুক্ত গ্যাস প্রবাহের অধীনে সিরামিকের কর্মক্ষমতার কোনো অবনতি প্রত্যাশিত নয়। গ্যাস প্রবাহের প্রতি সংবেদনশীল ওয়েফারের (যেমন, ভঙ্গুর কাঠামোযুক্ত MEMS) ক্ষেত্রে, গ্যাসের চাপ এবং নজল ডিজাইন সেই অনুযায়ী সামঞ্জস্য করা উচিত।