প্লাজমা এচ এবং সিভিডি সিস্টেমের জন্য উচ্চ-বিশুদ্ধ অ্যালুমিনা চেম্বার ফোকাস রিং

সেন্ট সেরার চেম্বার ফোকাস রিং হলো একটি অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ প্রসেস কিট উপাদান, যা প্লাজমা এচ, সিভিডি এবং পিভিডি সেমিকন্ডাক্টর যন্ত্রপাতিতে ব্যবহৃত হয়। ৯৯.৮% উচ্চ-বিশুদ্ধ অ্যালুমিনা (Al₂O₃) দিয়ে তৈরি এই রিংটি ওয়েফারের প্রান্তকে ঘিরে রাখে, যা প্লাজমাকে আবদ্ধ করে এবং আয়নের কৌণিক বন্টনকে অনুকূল করে তোলে। এর ফলে ওয়েফারের পৃষ্ঠ জুড়ে এচের সমরূপতা উন্নত হয়। এই উপাদানটি অসাধারণ প্লাজমা প্রতিরোধ ক্ষমতা, উচ্চ ডাইইলেকট্রিক শক্তি (১৫×১০⁶ V/m) এবং ১৬০০°C পর্যন্ত তাপীয় স্থিতিশীলতা প্রদান করে, যা ক্ষতিকর ফ্লোরিন- বা ক্লোরিন-ভিত্তিক প্লাজমা পরিবেশে দীর্ঘমেয়াদী নির্ভরযোগ্যতা নিশ্চিত করে। এর নিখুঁতভাবে গ্রাউন্ড করা অভ্যন্তরীণ/বাহ্যিক ব্যাস এবং সমতলতা (≤১০ μm) ওয়েফারের প্রান্তের সঠিক অবস্থান নিশ্চিত করে, যা প্রান্তের ত্রুটি এবং কণা তৈরি হওয়া কমায়।

স্পেসিফিকেশন(৯৯.৮% অ্যালুমিনিয়ামের উপর ভিত্তি করে)₂O₃):

প্রয়োগসমূহ:

• · ডাইইলেকট্রিক এচ চেম্বার ফোকাস রিং (অক্সাইড, নাইট্রাইড এচ)
• সিলিকন এচ চেম্বারের প্রান্তের রিংগুলি
• সিভিডি চেম্বার প্রসেস কিট রিং
• · পিভিডি চেম্বার শিল্ড এবং ক্ল্যাম্প রিং

উৎপাদন প্রক্রিয়া:

উচ্চ-বিশুদ্ধ অ্যালুমিনা পাউডার আইসোস্ট্যাটিক্যালি চাপ প্রয়োগ করা হয় → নিয়ার-নেট শেপে গ্রিন মেশিনিং করা হয় → ১৬০০°C তাপমাত্রায় সিন্টারিং করা হয় → অভ্যন্তরীণ ব্যাস (ID), বাহ্যিক ব্যাস (OD) এবং পুরুত্বের CNC ডায়মন্ড গ্রাইন্ডিং করা হয় → ≤১০ μm সমতলতা অর্জনের জন্য ল্যাপিং করা হয় → আল্ট্রাসনিক ক্লিনিং করা হয় → ১০০% CMM পরিদর্শন করা হয়। পৃষ্ঠতলের ফিনিশ Ra ≤০.৪ μm কণার আসঞ্জনকে সর্বনিম্ন করে।

গুণমান নিয়ন্ত্রণ:

• · ১০০% মাত্রিক পরিদর্শন (অভ্যন্তরীণ ব্যাস, বাহ্যিক ব্যাস, পুরুত্ব, সমান্তরালতা)
• · ক্ষুদ্র ফাটলের জন্য ডাই পেনিট্র্যান্ট পরীক্ষা (কোনো ফাটল গ্রহণযোগ্য নয়)
• ২০× মাইক্রোস্কোপের নিচে চাক্ষুষ পরিদর্শন — কোনো ভাঙা অংশ, শূন্যস্থান বা বিবর্ণতা নেই।
• · ASTM D149 অনুযায়ী ডাইইলেকট্রিক স্ট্রেংথ পরীক্ষা (নমুনা)

সিলিকন বা কোয়ার্টজ ফোকাস রিংয়ের তুলনায় সুবিধাসমূহ:

• ফ্লুরোকার্বন প্লাজমায় ৫–১০ গুণ বেশি দীর্ঘ জীবনকাল
• ওয়েফারকে দূষিত করার মতো কোনো ব্যবহারযোগ্য ক্ষয় কণা নেই
• উচ্চতর ডাইইলেকট্রিক শক্তি আর্কিং প্রতিরোধ করে।
• হাজার হাজার আরএফ ঘন্টা ধরে সমতলতা এবং মাত্রিক নির্ভুলতা বজায় রাখে

বিকল্প উপাদান — ইট্রিয়া-স্থিতিশীল জিরকোনিয়া (ZrO)₂):

যেসব অ্যাপ্লিকেশনে উচ্চতর ফ্র্যাকচার টাফনেস প্রয়োজন (যেমন, ঘন ঘন থার্মাল সাইক্লিং বা মেকানিক্যাল শকযুক্ত চেম্বার), সেগুলোর জন্য ZrO₂ ফোকাস রিং (ঘনত্ব ৬.০৩ গ্রাম/সেমি³, ফ্লেক্সারাল স্ট্রেংথ ১০০০ এমপিএ, ফ্র্যাকচার টাফনেস ৫–৮ এমপিএ·মি¹/²) পাওয়া যায়। তবে, অ্যালুমিনা অধিকতর সাশ্রয়ী এবং বেশিরভাগ ফোকাস রিং অ্যাপ্লিকেশনের জন্য এটিই ইন্ডাস্ট্রির স্ট্যান্ডার্ড।

কাস্টমাইজেশন:

• গ্রাহকের ড্রয়িং অনুযায়ী স্টেপ প্রোফাইল, কাউন্টারবোর বা মাউন্টিং হোল
• · উন্নত প্লাজমা ক্ষয় প্রতিরোধের জন্য Y₂O₃ প্রলেপ (বেধ ২০–১০০ μm)
• পার্ট নম্বর, ডেট কোড, বা অ্যালাইনমেন্ট মার্ক লেজার দ্বারা চিহ্নিতকরণ।

দ্রষ্টব্য:সমস্ত ডেটা সরবরাহকৃত Al₂O₃ প্রপার্টি টেবিল কঠোরভাবে অনুসরণ করে। ZrO₂ স্পেসিফিকেশনের জন্য, সরবরাহকৃত জিরকোনিয়া ডেটাশিট দেখুন। ফোকাস রিং ডিজাইনের জন্য পেটেন্ট ছাড়পত্রের প্রয়োজন হতে পারে — মেধাস্বত্ব অধিকার যাচাই করার দায়িত্ব গ্রাহকদের।