-
ওয়েফার হ্যান্ডলিংয়ের জন্য উচ্চ-বিশুদ্ধ অ্যালুমিনা সিরামিক রোবট আর্ম
সেন্ট সেরার অ্যালুমিনা সিরামিক রোবট আর্মটি ৯৯.৮% উচ্চ-বিশুদ্ধ Al₂O₃ (অ্যালুমিনা) থেকে নিখুঁতভাবে তৈরি করা হয়েছে। এটি অসাধারণ নমনীয় শক্তি (৩৬১ MPa), উচ্চ কাঠিন্য (১৬ GPa) এবং কম ঘনত্ব (৩.৯৩ g/cm³)-এর সমন্বয়ে সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার স্থানান্তরের জন্য একটি হালকা অথচ দৃঢ় আর্ম তৈরি করে। উপাদানটির তাপীয় প্রসারণ সহগ (৭.২×১০⁻⁶/°C) সিলিকনের সাথে ঘনিষ্ঠভাবে মিলে যায়, যা প্রক্রিয়াকরণের সময় তাপীয় অমিল কমিয়ে আনে।
-
বার্নোলি সিরামিক এন্ড এফেক্টর — পাতলা ও ভঙ্গুর ওয়েফারের জন্য স্পর্শবিহীন হ্যান্ডলিং
সেন্ট সেরার বার্নোলি সিরামিক এন্ড এফেক্টর অ্যারোডাইনামিক লিফট ব্যবহার করে কোনো রকম ভৌত সংস্পর্শ ছাড়াই ওয়েফার পরিচালনা করে। উচ্চ-বিশুদ্ধ ৯৯.৮% অ্যালুমিনা (Al₂O₃) বা সিলিকন কার্বাইড (SiC) থেকে নির্মিত এই যন্ত্রটিতে রয়েছে নিখুঁতভাবে তৈরি নজল, যা চাপযুক্ত গ্যাস নির্গত করে এন্ড এফেক্টর এবং ওয়েফারের মধ্যে একটি পাতলা বায়ুস্তর তৈরি করে। এই অ-সংস্পর্শ নীতিটি পেছনের দিকের দূষণ, প্রান্তের ভাঙন এবং পৃষ্ঠের ক্ষতি দূর করে, যা এটিকে পাতলা (≤১০০ μm), ভঙ্গুর বা বাঁকা ওয়েফারের জন্য আদর্শ করে তোলে। সিরামিক সাবস্ট্রেটটি উচ্চ ফ্লেক্সারাল শক্তি (Al₂O₃-এর জন্য ৩৬১ MPa; SiC-এর জন্য ৫৫০–৬০০ MPa পর্যন্ত), কম ভর এবং চমৎকার মাত্রিক স্থিতিশীলতা প্রদান করে, যা উচ্চ-গতির ওয়েফার ট্রান্সফার রোবটগুলিতে পুনরাবৃত্তিমূলক অবস্থান নিশ্চিত করে।
-
টেফলন প্রলেপযুক্ত সিরামিক এন্ড ইফেক্টর – সংবেদনশীল ওয়েফার হ্যান্ডলিংয়ের জন্য নন-স্টিক পৃষ্ঠ
সেন্ট সেরার টেফলন (PTFE) প্রলেপযুক্ত সিরামিক এন্ড এফেক্টর একটি উচ্চ-শক্তির অ্যালুমিনা সাবস্ট্রেটের সাথে একটি সুষম, কম-ঘর্ষণযুক্ত PTFE প্রলেপকে (বেধ ১৫–৩০ μm) একত্রিত করে। এই প্রলেপটি অত্যন্ত কম ঘর্ষণ সহগ (≤০.১), চমৎকার রাসায়নিক প্রতিরোধ ক্ষমতা এবং নন-স্টিক বৈশিষ্ট্য প্রদান করে, যা ওয়েফারের লেগে যাওয়া প্রতিরোধ করে এবং পেছনের দিকের দূষণ দূর করে। এর নিচের সিরামিক সাবস্ট্রেট (৯৯.৮% Al₂O₃) উচ্চ ফ্লেক্সারাল শক্তি (৩৬১–১০০০ MPa), ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা এবং ২৬০°C পর্যন্ত (আবরণের সর্বোচ্চ সীমা) তাপীয় স্থিতিশীলতা প্রদান করে। এই এন্ড এফেক্টরটি নাজুক, পাতলা বা আঠালো ওয়েফার (যেমন, ফটোরেজিস্ট প্রলেপ বা রাসায়নিক প্রক্রিয়ার পরে) পরিচালনা করার জন্য আদর্শ।
