উচ্চ-তাপমাত্রার চেম্বার সিল করার জন্য উচ্চ-বিশুদ্ধ অ্যালুমিনা সিরামিক সিল রিং
সেন্ট সেরার সিরামিক সিল রিং এমন চরম পরিবেশে পলিমার ও-রিং-এর বিকল্প হিসেবে ডিজাইন করা হয়েছে, যেখানে ইলাস্টোমার ক্ষয়প্রাপ্ত হয়। ৯৯.৮% উচ্চ-বিশুদ্ধ অ্যালুমিনা (Al₂O₃) থেকে তৈরি এই অনমনীয় সিল রিংটি স্ট্যাটিক সিলিং অ্যাপ্লিকেশনে ব্যবহৃত হয় — সাধারণত একটি নরম ধাতু বা গ্রাফাইট গ্যাসকেটের সাথে যুক্ত করে — যা ৮০০°C পর্যন্ত তাপমাত্রায় এবং আক্রমণাত্মক প্লাজমা বা রাসায়নিক পরিবেশে নির্ভরযোগ্য ভ্যাকুয়াম বা গ্যাস ধারণ নিশ্চিত করে। এই উপাদানটি শূন্য গ্যাস নির্গমন, উচ্চ সংকোচন শক্তি (অন্তর্নিহিত নমন শক্তি ৩৬১ MPa) এবং রাসায়নিক নিষ্ক্রিয়তা (HF ছাড়া হ্যালোজেন, অ্যাসিড এবং ক্ষারের প্রতি প্রতিরোধী) প্রদান করে। নির্ভুলভাবে ল্যাপ করা সিলিং পৃষ্ঠ (সমতলতা ≤৫ μm, পৃষ্ঠের অমসৃণতা Ra ≤০.২ μm) সংযোগকারী ধাতু বা সিরামিক উপাদানের সাথে লিক-রোধী সংযোগ নিশ্চিত করে।
স্পেসিফিকেশন(৯৯.৮% অ্যালুমিনিয়ামের উপর ভিত্তি করে)₂O₃):
| সম্পত্তি | মূল্য |
| উপাদান | ৯৯.৮% অ্যালুমিনা (আইভরি) |
| ঘনত্ব | ৩.৯৩ গ্রাম/সেমি³ |
| জল শোষণ | 0% |
| নমনীয় শক্তি | ৩৬১ মেগাপ্যাসকেল |
| সংকোচন শক্তি (আনুমানিক) | ২০০০ মেগাপ্যাসকেল |
| ভিকার্স কঠোরতা | ১৬ জিপিএ |
| তাপীয় প্রসারণ (২৫–১০০০°সে) | ৭.২×১০⁻⁶/℃ |
| সর্বোচ্চ অপারেটিং তাপমাত্রা | ৮০০°সে (বায়ু), ১৬০০°সে (নিষ্ক্রিয়) |
| পৃষ্ঠতল ফিনিশ (সিলিং পৃষ্ঠ) | Ra ≤0.2 μm (ল্যাপড) |
| সমতলতা (প্রতি ২৫ মিমি) | ≤৫ μm |
| হিলিয়াম লিকের হার | <১×১০⁻¹⁰ Pa·m³/s (উপযুক্ত গ্যাসকেট সহ) |
প্রয়োগসমূহ:
- · সেমিকন্ডাক্টর প্রসেস চেম্বারের স্ট্যাটিক সিল (CVD, PVD, etch)
- উচ্চ-তাপমাত্রার চুল্লির দরজার সিল
- ভ্যাকুয়াম ফিডথ্রু ফ্ল্যাঞ্জগুলি
- রাসায়নিক চুল্লি পাত্রের ঢাকনা
উৎপাদন প্রক্রিয়া:
আইসোস্ট্যাটিক প্রেসিং → ১৬০০° সেলসিয়াসে সিন্টারিং → অত্যন্ত সমতল ও মসৃণ সিলিং পৃষ্ঠ তৈরির জন্য সূক্ষ্ম ডাবল-সাইড ল্যাপিং → প্রান্তের শ্যাফারিং → আল্ট্রাসনিক ক্লিনিং। প্রতিটি রিং একটি স্ট্যান্ডার্ড মেটাল গ্যাসকেট সহ হিলিয়াম লিক ডিটেক্টরে ১০০% লিক-টেস্ট করা হয়।
গুণমান নিয়ন্ত্রণ:
- · সিএমএম দ্বারা মাত্রিক যাচাই (অভ্যন্তরীণ ব্যাস, বাহ্যিক ব্যাস, পুরুত্ব, সমান্তরালতা)
- Ra এবং তরঙ্গায়নের জন্য পৃষ্ঠ প্রোফাইলোমিটার
- অপটিক্যাল ফ্ল্যাট ব্যবহার করে সমতলতা পরিমাপ
- · হিলিয়াম লিক পরীক্ষা (ব্যাক-প্রেসারাইজেশন পদ্ধতি)
পলিমার ও-রিং এর তুলনায় সুবিধাসমূহ:
- · FFKM এর জন্য 800°C বনাম <300°C সহ্য করে
- · শূন্য গ্যাস নির্গমন — ভ্যাকুয়াম পরিবেশের কোনো দূষণ হয় না
- সকল প্লাজমা রসায়নের (ফ্লোরিন, ক্লোরিন, অক্সিজেন) বিরুদ্ধে প্রতিরোধী।
- কোনো সংকোচন সেট বা স্থায়ী বিকৃতি নেই
- পরিষ্কার পরিবেশে সীমাহীন পরিষেবা জীবন
সীমাবদ্ধতা (সমালোচনামূলক মন্তব্য):
- · ও-রিং নয়এটি একটি অনমনীয় সিরামিক রিং, যা সিল করার জন্য একটি নরম গ্যাসকেট (তামা, অ্যালুমিনিয়াম বা গ্রাফাইট) প্রয়োজন হয়।
- · এটি গতিশীল নড়াচড়া বা ফ্ল্যাঞ্জের বড় ধরনের অসামঞ্জস্যের জন্য উপযুক্ত নয়।
- পলিমার ও-রিং-এর তুলনায় প্রাথমিক খরচ বেশি হলেও, এর দীর্ঘস্থায়ীত্ব মালিকানার খরচ কমিয়ে দেয়।
- · ভঙ্গুর — সাবধানে ব্যবহার করুন; কোনো নির্দিষ্ট স্থানে আঘাত বা বাঁকানো থেকে বিরত থাকুন।
দ্রষ্টব্য:উপরের তথ্য সরবরাহকৃত Al₂O₃ বৈশিষ্ট্য সারণী কঠোরভাবে অনুসরণ করে। ইলাস্টোমেরিক উপকরণের জন্য কোনো তথ্য সরবরাহ করা হয়নি। এই পণ্যটি একটি স্ট্যাটিক সিল রিং, কোনো ইলাস্টোমেরিক ও-রিং নয়। অনুগ্রহ করে নিশ্চিত করুন এটি আপনার অ্যাপ্লিকেশনের প্রয়োজনীয়তা পূরণ করে কিনা।
