উচ্চ-তাপমাত্রা ও প্লাজমা পরিবেশের জন্য সিলিকন কার্বাইড (SiC) ভিত্তিক ভ্যাকুয়াম চাক
সেন্ট সেরার SiC-ভিত্তিক সিরামিক চাকটি উচ্চ-বিশুদ্ধ সিলিকন কার্বাইড (ব্যাচ S1111, SiC ৯৯.৭২%, মুক্ত Si ০.০৫%) থেকে তৈরি করা হয়। এটি ৪৪৯ MPa পরিমাপকৃত ফ্লেক্সারাল স্ট্রেংথ, ৩.১২ MPa·m¹/² ফ্র্যাকচার টাফনেস এবং ৪৫৭ GPa ইলাস্টিক মডিউলাস প্রদান করে। উপাদানটির সাধারণ তাপ পরিবাহিতা (১২০–১৫০ W/m·K) এবং কম তাপীয় প্রসারণ (৪.০–৪.৫×১০⁻⁶/℃) থার্মাল সাইক্লিংয়ের সময় দ্রুত তাপমাত্রা বৃদ্ধি এবং ওয়েফারের ন্যূনতম বিকৃতি নিশ্চিত করে। চাকটিকে একটি পোরোরাস ভ্যাকুয়াম চাক (সুষম গ্যাস প্রবাহ) অথবা একটি গ্রুভযুক্ত স্ট্যান্ডার্ড চাক হিসাবে কনফিগার করা যেতে পারে। ১৬০০–১৭০০°C (নো-লোড) সর্বোচ্চ ব্যবহারযোগ্য তাপমাত্রা এবং অসাধারণ প্লাজমা ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতার কারণে, এই চাকটি উচ্চ-তাপমাত্রার ওয়েফার প্রসেসিং (অ্যানিলিং, আরটিপি) এবং এমন ক্ষতিকর এচ চেম্বারের জন্য আদর্শ, যেখানে অ্যালুমিনা চাকগুলো ক্ষয়প্রাপ্ত হয়।
স্পেসিফিকেশন(সরবরাহকৃত SiC S1111 পরীক্ষার প্রতিবেদন এবং সাধারণ মানের উপর ভিত্তি করে)):
| সম্পত্তি | মূল্য |
| উপাদান | SiC (৯৯.৭২% SiC, ০.০৫% মুক্ত Si) |
| ঘনত্ব | ৩.১০–৩.১৫ গ্রাম/সেমি³ |
| জল শোষণ | 0% |
| নমনীয় শক্তি | ৪৪৯ মেগাপ্যাসকেল |
| ফ্র্যাকচার টাফনেস | ৩.১২ মেগাপ্যাসকেল·মিটার¹/² |
| স্থিতিস্থাপক মডুলাস | ৪৫৭ জিপিএ |
| ভিকার্স কঠোরতা | ২৫-২৮ জিপিএ |
| তাপ পরিবাহিতা | ১২০–১৫০ ওয়াট/মিটার·কেলভিন |
| CTE (২৫–১০০০°C) | ৪.০–৪.৫×১০⁻⁶/℃ |
| সর্বোচ্চ ব্যবহারযোগ্য তাপমাত্রা (লোড ছাড়া) | ১৬০০–১৭০০°সে |
| সমতলতা (৩০০ মিমি-এর বেশি) | ≤৫ μm |
| পৃষ্ঠতল ফিনিশ | Ra ≤0.4 μm (ল্যাপড) |
প্রয়োগসমূহ:
● উচ্চ-তাপমাত্রার চাকিং (অ্যানিলিং, আরটিপি, এপিটেক্সিয়াল গ্রোথ)
● উচ্চ ফ্লোরিন প্রতিরোধ ক্ষমতা সম্পন্ন প্লাজমা এচ চাক
● সুষমভাবে তাপ দেওয়া/ঠান্ডা করার মাধ্যমে পাতলা ওয়েফার পরিচালনা
● স্পর্শবিহীন ওয়েফার সাপোর্টের জন্য ছিদ্রযুক্ত চাক
উৎপাদন:
SiC সিন্টারিং → সমতলতা এবং পৃষ্ঠতলের প্রোফাইলের সূক্ষ্ম গ্রাইন্ডিং → ঐচ্ছিক ছিদ্রযুক্ত কাঠামো গঠন (ভ্যাকুয়াম চকের জন্য) → ল্যাপিং → আল্ট্রাসনিক ক্লিনিং। প্রতিটি চাকের সমতলতা (লেজার ইন্টারফেরোমিটার) এবং ভ্যাকুয়ামের সমরূপতা (ফ্লো টেস্ট) শতভাগ পরীক্ষা করা হয়।
গুণমান নিয়ন্ত্রণ:
● সিএমএম দ্বারা মাত্রিক যাচাই (ব্যাস, পুরুত্ব, ছিদ্রের অবস্থান)
● ASTM অনুযায়ী সমতলতা পরিমাপ
● হিলিয়াম লিক টেস্ট (ভ্যাকুয়াম চকের জন্য)
● প্রতি ব্যাচের নমন শক্তি যাচাই (পরীক্ষা প্রতিবেদন দ্রষ্টব্য)
অ্যালুমিনা চাকের তুলনায় সুবিধাসমূহ:
● উচ্চতর তাপ পরিবাহিতা (অ্যালুমিনার ৩২ ওয়াট/মিটার·কেলভিন এর বিপরীতে ১২০–১৫০ ওয়াট/মিটার·কেলভিন) – ৪ গুণ দ্রুত তাপ স্থানান্তর
● কম CTE (৪.০ বনাম ৭.২×১০⁻⁶/℃) – ওয়েফারের তাপীয় পীড়ন কমায়
● উন্নততর প্লাজমা প্রতিরোধ ক্ষমতা – ফ্লুরিন এচে ১০ গুণ বেশি দীর্ঘস্থায়ী
● উচ্চতর সর্বোচ্চ ব্যবহার তাপমাত্রা (অ্যালুমিনার ৮০০°C এর বিপরীতে ১৬০০°C)
কাস্টমাইজেশন:
● ছিদ্রযুক্ত বা খাঁজকাটা পৃষ্ঠতল
● ব্যাস ১০০–৪৫০ মিমি, গোলাকার বা বর্গাকার
● প্রান্ত সিলিং রিং বা জোন ভ্যাকুয়াম পার্টিশন
● উচ্চ দৃঢ়তার সাথে স্থাপনের জন্য ধাতব অবলম্বনের বিকল্প
উপরের সমস্ত যান্ত্রিক তথ্য সরবরাহকৃত পরীক্ষা প্রতিবেদন (ব্যাচ S1111) থেকে নেওয়া হয়েছে। তাপীয় এবং কাঠিন্যের মান এই SiC গ্রেডের জন্য সাধারণ। ছিদ্রযুক্ত SiC চাকগুলির জন্য অতিরিক্ত প্রক্রিয়াকরণের প্রয়োজন হয়; নির্দিষ্ট ছিদ্রতা এবং ছিদ্রের আকারের প্রাপ্যতা সম্পর্কে জানতে অনুগ্রহ করে অনুসন্ধান করুন।
