সিলিকন কার্বাইড (SiC) সিরামিক এন্ড এফেক্টর – উচ্চ-তাপমাত্রার ওয়েফার হ্যান্ডলিংয়ের জন্য উচ্চ দৃঢ়তা
সেন্ট সেরার SiC সিরামিক এন্ড এফেক্টরটি S1111 ব্যাচ মেটেরিয়াল ব্যবহার করে উচ্চ-বিশুদ্ধ সিলিকন কার্বাইড (SiC-এর পরিমাণ ৯৯.৭২%, মুক্ত Si ০.০৫%) থেকে তৈরি করা হয়। এটি অসাধারণ যান্ত্রিক বৈশিষ্ট্য প্রদান করে: ফ্লেক্সারাল স্ট্রেংথ ৪৪৯ MPa (পরিমাপকৃত), ইলাস্টিক মডিউলাস ৪৫৭ GPa (পরিমাপকৃত), এবং ভিকার্স হার্ডনেস ২৫–২৮ GPa (সাধারণ)। এর কম ঘনত্ব (৩.১০–৩.১৫ গ্রাম/সেমি³, সাধারণ) একটি উচ্চ স্পেসিফিক স্টিফনেস প্রদান করে, যা উচ্চ-গতির ওয়েফার ট্রান্সফার রোবটের জন্য আদর্শ। ১২০–১৫০ W/m·K (সাধারণ) তাপ পরিবাহিতা এবং ৪.০–৪.৫×১০⁻⁶/℃ (সাধারণ) তাপীয় প্রসারণ সহগের সাথে, এই এন্ড এফেক্টরটি কার্যকরভাবে তাপ অপসারিত করে এবং উচ্চ-তাপমাত্রায় (নো-লোড অবস্থায় ১৬০০–১৭০০°C পর্যন্ত) কাজ করার সময় এর মাত্রিক স্থিতিশীলতা বজায় রাখে। কালো/ধূসর রঙ এবং শূন্য জল শোষণ ক্ষমতা ক্লিনরুমের জন্য উপযুক্ততা নিশ্চিত করে।
স্পেসিফিকেশন(সরবরাহকৃত SiC S1111 পরীক্ষার প্রতিবেদন এবং সাধারণ মানের উপর ভিত্তি করে)):
| সম্পত্তি | মূল্য |
| উপাদান | SiC (৯৯.৭২% SiC, ০.০৫% মুক্ত Si) |
| রঙ | কালো/ধূসর |
| ঘনত্ব | ৩.১০–৩.১৫ গ্রাম/সেমি³ |
| জল শোষণ | 0% |
| নমনীয় শক্তি | ৪৪৯ মেগাপ্যাসকেল (গড়) |
| ফ্র্যাকচার টাফনেস | ৩.১২ মেগাপ্যাসকেল·মিটার¹/² (গড়) |
| স্থিতিস্থাপক মডুলাস | ৪৫৭ জিপিএ |
| ভিকার্স কঠোরতা | ২৫-২৮ জিপিএ |
| তাপ পরিবাহিতা (২৫°সে.) | ১২০–১৫০ ওয়াট/মিটার·কেলভিন |
| CTE (২৫–১০০০°C) | ৪.০–৪.৫×১০⁻⁶/℃ |
| সর্বোচ্চ ব্যবহারযোগ্য তাপমাত্রা (লোড ছাড়া) | ১৬০০–১৭০০°সে |
প্রয়োগসমূহ:
● উচ্চ-তাপমাত্রায় ওয়েফার প্রক্রিয়াকরণ (পোস্ট-অ্যানিল, আরটিপি, এপিট্যাক্সি)
● উচ্চ ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা সম্পন্ন প্লাজমা এচ চেম্বার
● উচ্চ-গতির স্থানান্তর রোবট (হালকা ওজন, উচ্চ দৃঢ়তা)
উৎপাদন:
SiC পাউডার সিন্টারিং → আর্ম প্রোফাইল এবং মাউন্টিং ফিচারের নির্ভুল CNC গ্রাইন্ডিং → সারফেস ল্যাপিং → আলট্রাসনিক ক্লিনিং। ভ্যাকুয়াম অ্যাপ্লিকেশনের জন্য ১০০% মাত্রিক পরিদর্শন এবং হিলিয়াম লিক টেস্ট।
গুণমান নিয়ন্ত্রণ:
● দৈর্ঘ্য, প্রস্থ এবং সমতলতার সিএমএম (CMM) পরিদর্শন
● প্রতি ব্যাচের নমন শক্তি পরীক্ষা (পরীক্ষা প্রতিবেদনের মান অনুযায়ী)
● অণুবীক্ষণ যন্ত্রের নিচে পৃষ্ঠতলের ত্রুটি পর্যবেক্ষণ
অ্যালুমিনা বা ধাতুর তুলনায় সুবিধাসমূহ:
● ২ গুণ বেশি স্থিতিস্থাপক মডুলাস (অ্যালুমিনার জন্য ~৩৮০ GPa এর বিপরীতে ৪৫৭ GPa) – কম বিচ্যুতি
● ৩ গুণ বেশি তাপ পরিবাহিতা – দ্রুত তাপ অপচয়
● বাতাসে অ্যালুমিনার ৮০০°C এর তুলনায় এটি ১৬০০°C এর বেশি তাপমাত্রা সহ্য করতে পারে।
● স্টিলের চেয়ে কম ঘনত্ব – ৪০% ওজন হ্রাস
কাস্টমাইজেশন:
দৈর্ঘ্য ১৫০–৪৫০ মিমি, অগ্রভাগের আকৃতি (এজ গ্রিপ, বার্নোলি, ফ্ল্যাট), OEM ড্রয়িং অনুযায়ী মাউন্টিং ফ্ল্যাঞ্জের নকশা।
উপরের সমস্ত যান্ত্রিক তথ্য সরবরাহকৃত পরীক্ষা প্রতিবেদন (ব্যাচ S1111) থেকে নেওয়া হয়েছে। তাপীয় এবং কাঠিন্যের মান এই SiC গ্রেডের জন্য সাধারণ; লট-নির্দিষ্ট সার্টিফিকেশনের জন্য অনুগ্রহ করে আমাদের সাথে যোগাযোগ করুন।
