বিকৃত ওয়েফার হ্যান্ডলিংয়ের জন্য ছিদ্রযুক্ত সিরামিক ভ্যাকুয়াম চাক

সেন্ট সেরার ছিদ্রযুক্ত সিরামিক চাকটি উচ্চ-বিশুদ্ধ অ্যালুমিনা থেকে তৈরি করা হয়েছে, যার ৩০-৪৫% সুষম উন্মুক্ত ছিদ্রতা এবং ১০ থেকে ১০০ মাইক্রোমিটার পর্যন্ত ছিদ্রের আকার রয়েছে। প্রচলিত খাঁজকাটা চাকের বিপরীতে, এর ছিদ্রযুক্ত পৃষ্ঠটি ওয়েফারের পেছনের পুরো অংশ জুড়ে ভ্যাকুয়াম বিতরণ করে, যা বাঁকানো, পাতলা বা একক ওয়েফারকে প্রান্ত উঠে যাওয়া বা ভেঙে যাওয়া ছাড়াই কার্যকরভাবে ধরে রাখে। এই মৃদু ভ্যাকুয়াম (যা রেস্ট্রিক্টরের মাধ্যমে সামঞ্জস্য করা যায়) পেছনের অংশে দাগ পড়াও প্রতিরোধ করে।

স্পেসিফিকেশন(৯৯.৬% অ্যালুমিনিয়ামের উপর ভিত্তি করে)₂O₃):

প্রয়োগসমূহ:

পাতলা ওয়েফার (≤৫০ μm) পিছনের দিক গ্রাইন্ডিং

ডাইসিংয়ের জন্য ওয়ার্পড ওয়েফার মাউন্টিং

টেপ থেকে একক ডাই পিক-আপ

গ্লাস প্যানেল হ্যান্ডলিং

উৎপাদন ও গুণমান:

জৈব ছিদ্র সৃষ্টিকারী উপাদানের সাথে সিরামিক পাউডার মিশিয়ে → চাপ প্রয়োগ করে → সিন্টার করে → চূড়ান্ত পুরুত্বে ল্যাপ করা হয়। প্রতিটি চাকের ভ্যাকুয়াম সমরূপতা (≤৫% বিচ্যুতি) ফ্লো-টেস্ট করা হয় এবং ছিদ্রের আকার বন্টন (SEM) পরীক্ষা করা হয়। লেজার ইন্টারফেরোমিটার দিয়ে সমতলতা পরিমাপ করা হয়।

গ্রুভড চাকের তুলনায় সুবিধাসমূহ:

ওয়েফারের প্রান্তে কোনো চিহ্ন বা ডাই শিফট নেই

বাঁকা ওয়েফার ধারণ করে (৫০০ মাইক্রোমিটার পর্যন্ত বাঁক)

ভ্যাকুয়াম ছিদ্র বন্ধ হওয়া দূর করে

পাতলা সাবস্ট্রেটের জন্য স্ব-সমতলকারী সাপোর্ট

কাস্টমাইজেশন:

গোলাকার বা আয়তাকার আকৃতি, আকার ৬০০ মিমি পর্যন্ত। আমরা প্রান্ত সিলিং রিং বা জোন ভ্যাকুয়াম পার্টিশন প্রয়োগ করতে পারি। উচ্চ দৃঢ়তার প্রয়োজনে ধাতব-পিঠযুক্ত সংস্করণও পাওয়া যায়।

আপনার ওয়েফারের আকার ও বিকৃতি পরীক্ষার জন্য একটি নমুনার অনুরোধ করুন।