-
অ্যালুমিনা উচ্চ-নির্ভুল সিরামিক রিং সিরামিক যন্ত্রাংশ
কোল্ড আইসোস্ট্যাটিক প্রেসিং দ্বারা গঠিত এবং উচ্চ তাপমাত্রায় সিন্টারিং করার পর, সূক্ষ্মভাবে মেশিনিং ও পলিশ করা সিরামিকের যন্ত্রাংশগুলো এর ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা, মরিচা প্রতিরোধ ক্ষমতা, স্বল্প তাপীয় প্রসারণ এবং তাপ নিরোধক বৈশিষ্ট্যের মাধ্যমে সেমিকন্ডাক্টর যন্ত্রপাতির যেকোনো কঠোর চাহিদা পূরণ করতে পারে। সিরামিক উচ্চ তাপমাত্রা, ভ্যাকুয়াম বা ক্ষয়কারী গ্যাসের মতো পরিবেশে বিভিন্ন ধরণের সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন যন্ত্রপাতিতে দীর্ঘ সময় ধরে কাজ করতে পারে।
উচ্চ-বিশুদ্ধ অ্যালুমিনা পাউডার থেকে তৈরি এবং কোল্ড আইসোস্ট্যাটিক প্রেসিং, উচ্চ-তাপমাত্রার সিন্টারিং ও প্রিসিশন ফিনিশিং দ্বারা প্রক্রিয়াজাত হওয়ায়, এটি ±০.০০১ মিমি পর্যন্ত মাত্রিক সহনশীলতা, Ra ০.১ পৃষ্ঠতল ফিনিশ এবং ১৬০০℃ পর্যন্ত তাপমাত্রা প্রতিরোধ ক্ষমতা অর্জন করতে পারে।
-
ST.CERA কাস্টমাইজড সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জাম সিরামিক চাক
কোল্ড আইসোস্ট্যাটিক প্রেসিং দ্বারা গঠিত এবং উচ্চ তাপমাত্রায় সিন্টারিং করার পর, সূক্ষ্মভাবে মেশিনিং ও পলিশ করা সিরামিকের যন্ত্রাংশগুলো এর ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা, মরিচা প্রতিরোধ ক্ষমতা, স্বল্প তাপীয় প্রসারণ এবং তাপ নিরোধক বৈশিষ্ট্যের মাধ্যমে সেমিকন্ডাক্টর যন্ত্রপাতির যেকোনো কঠোর চাহিদা পূরণ করতে পারে। সিরামিক উচ্চ তাপমাত্রা, ভ্যাকুয়াম বা ক্ষয়কারী গ্যাসের মতো পরিবেশে বিভিন্ন ধরণের সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন যন্ত্রপাতিতে দীর্ঘ সময় ধরে কাজ করতে পারে।
উচ্চ-বিশুদ্ধ অ্যালুমিনা পাউডার থেকে তৈরি এবং কোল্ড আইসোস্ট্যাটিক প্রেসিং, উচ্চ-তাপমাত্রার সিন্টারিং ও প্রিসিশন ফিনিশিং দ্বারা প্রক্রিয়াজাত হওয়ায়, এটি ±০.০০১ মিমি পর্যন্ত মাত্রিক সহনশীলতা, Ra ০.১ পৃষ্ঠতল ফিনিশ এবং ১৬০০℃ পর্যন্ত তাপমাত্রা প্রতিরোধ ক্ষমতা অর্জন করতে পারে।
-
সিলিকন কার্বাইড (SiC) সিরামিক এন্ড এফেক্টর – উচ্চ-তাপমাত্রার ওয়েফার হ্যান্ডলিংয়ের জন্য উচ্চ দৃঢ়তা
সেন্ট সেরার SiC সিরামিক এন্ড এফেক্টরটি S1111 ব্যাচ মেটেরিয়াল ব্যবহার করে উচ্চ-বিশুদ্ধ সিলিকন কার্বাইড (SiC-এর পরিমাণ ৯৯.৭২%, মুক্ত Si ০.০৫%) থেকে তৈরি করা হয়। এটি অসাধারণ যান্ত্রিক বৈশিষ্ট্য প্রদান করে: ফ্লেক্সারাল স্ট্রেংথ ৪৪৯ MPa (পরিমাপকৃত), ইলাস্টিক মডিউলাস ৪৫৭ GPa (পরিমাপকৃত), এবং ভিকার্স হার্ডনেস ২৫–২৮ GPa (সাধারণ)। এর কম ঘনত্ব (৩.১০–৩.১৫ গ্রাম/সেমি³, সাধারণ) একটি উচ্চ স্পেসিফিক স্টিফনেস প্রদান করে, যা উচ্চ-গতির ওয়েফার ট্রান্সফার রোবটের জন্য আদর্শ। ১২০–১৫০ W/m·K (সাধারণ) তাপ পরিবাহিতা এবং ৪.০–৪.৫×১০⁻⁶/℃ (সাধারণ) তাপীয় প্রসারণ সহগের সাথে, এই এন্ড এফেক্টরটি কার্যকরভাবে তাপ অপসারিত করে এবং উচ্চ-তাপমাত্রায় (নো-লোড অবস্থায় ১৬০০–১৭০০°C পর্যন্ত) কাজ করার সময় এর মাত্রিক স্থিতিশীলতা বজায় রাখে। কালো/ধূসর রঙ এবং শূন্য জল শোষণ ক্ষমতা ক্লিনরুমের জন্য উপযুক্ততা নিশ্চিত করে।
-
উচ্চ-তাপমাত্রা ও প্লাজমা পরিবেশের জন্য সিলিকন কার্বাইড (SiC) ভিত্তিক ভ্যাকুয়াম চাক
সেন্ট সেরার SiC-ভিত্তিক সিরামিক চাকটি উচ্চ-বিশুদ্ধ সিলিকন কার্বাইড (ব্যাচ S1111, SiC ৯৯.৭২%, মুক্ত Si ০.০৫%) থেকে তৈরি করা হয়। এটি ৪৪৯ MPa পরিমাপকৃত ফ্লেক্সারাল স্ট্রেংথ, ৩.১২ MPa·m¹/² ফ্র্যাকচার টাফনেস এবং ৪৫৭ GPa ইলাস্টিক মডিউলাস প্রদান করে। উপাদানটির সাধারণ তাপ পরিবাহিতা (১২০–১৫০ W/m·K) এবং কম তাপীয় প্রসারণ (৪.০–৪.৫×১০⁻⁶/℃) থার্মাল সাইক্লিংয়ের সময় দ্রুত তাপমাত্রা বৃদ্ধি এবং ওয়েফারের ন্যূনতম বিকৃতি নিশ্চিত করে। চাকটিকে একটি পোরোরাস ভ্যাকুয়াম চাক (সুষম গ্যাস প্রবাহ) অথবা একটি গ্রুভযুক্ত স্ট্যান্ডার্ড চাক হিসাবে কনফিগার করা যেতে পারে। ১৬০০–১৭০০°C (নো-লোড) সর্বোচ্চ ব্যবহারযোগ্য তাপমাত্রা এবং অসাধারণ প্লাজমা ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতার কারণে, এই চাকটি উচ্চ-তাপমাত্রার ওয়েফার প্রসেসিং (অ্যানিলিং, আরটিপি) এবং এমন ক্ষতিকর এচ চেম্বারের জন্য আদর্শ, যেখানে অ্যালুমিনা চাকগুলো ক্ষয়প্রাপ্ত হয়।
-
সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জাম সিরামিক খুচরা যন্ত্রাংশ সিরামিক বাহক
কোল্ড আইসোস্ট্যাটিক প্রেসিং দ্বারা গঠিত এবং উচ্চ তাপমাত্রায় সিন্টারিং করার পর, সূক্ষ্মভাবে মেশিনিং ও পলিশ করা সিরামিকের যন্ত্রাংশগুলো এর ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা, মরিচা প্রতিরোধ ক্ষমতা, স্বল্প তাপীয় প্রসারণ এবং তাপ নিরোধক বৈশিষ্ট্যের মাধ্যমে সেমিকন্ডাক্টর যন্ত্রপাতির যেকোনো কঠোর চাহিদা পূরণ করতে পারে। সিরামিক উচ্চ তাপমাত্রা, ভ্যাকুয়াম বা ক্ষয়কারী গ্যাসের মতো পরিবেশে বিভিন্ন ধরণের সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন যন্ত্রপাতিতে দীর্ঘ সময় ধরে কাজ করতে পারে।
উচ্চ-বিশুদ্ধ অ্যালুমিনা পাউডার থেকে তৈরি এবং কোল্ড আইসোস্ট্যাটিক প্রেসিং, উচ্চ-তাপমাত্রার সিন্টারিং ও প্রিসিশন ফিনিশিং দ্বারা প্রক্রিয়াজাত হওয়ায়, এটি ±০.০০১ মিমি পর্যন্ত মাত্রিক সহনশীলতা, Ra ০.১ পৃষ্ঠতল ফিনিশ এবং ১৬০০℃ পর্যন্ত তাপমাত্রা প্রতিরোধ ক্ষমতা অর্জন করতে পারে।
-
উচ্চ-দৃঢ়তা ল্যাপিং অ্যাপ্লিকেশনের জন্য ধাতু-সমর্থিত অ্যালুমিনা সিরামিক গ্রাইন্ডিং রিং
সেন্ট সেরার মেটাল-ভিত্তিক অ্যালুমিনা গ্রাইন্ডিং রিং একটি উচ্চ-বিশুদ্ধ অ্যালুমিনা (৯৯.৮% Al₂O₃) সিরামিক ওয়্যার লেয়ারকে একটি প্রিসিশন-মেশিনড মেটাল ব্যাকিং (সাধারণত অ্যালুমিনিয়াম বা স্টেইনলেস স্টিল)-এর সাথে একত্রিত করে। এই হাইব্রিড ডিজাইনটি গ্রাইন্ডিং সারফেসে সিরামিকের অসাধারণ ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা এবং রাসায়নিক নিষ্ক্রিয়তা প্রদান করে, অন্যদিকে মেটাল বেসটি যান্ত্রিক শক্তি, সহজে স্থাপনযোগ্যতা এবং ভঙ্গুর ভাঙন প্রতিরোধ ক্ষমতা যোগ করে। অ্যালুমিনা লেয়ারটি ৩৬১ MPa ফ্লেক্সারাল স্ট্রেংথ, ১৬ GPa ভিকার্স হার্ডনেস এবং ৮০০°C পর্যন্ত থার্মাল স্ট্যাবিলিটি প্রদান করে। ল্যাপিং মেশিন, প্ল্যানেটারি গ্রাইন্ডার এবং সিএমপি ইকুইপমেন্টে সংযুক্ত করার জন্য মেটাল বেসটিকে মাউন্টিং হোল, লোকেটিং পিন বা ম্যাগনেটিক বৈশিষ্ট্য দিয়ে কাস্টমাইজ করা যায়।
-
সেমিকন্ডাক্টর প্রোব স্টেশন সরঞ্জামের জন্য সিরামিক খুচরা যন্ত্রাংশ
কোল্ড আইসোস্ট্যাটিক প্রেসিং দ্বারা গঠিত এবং উচ্চ তাপমাত্রায় সিন্টারিং করার পর, সূক্ষ্মভাবে মেশিনিং ও পলিশ করা সিরামিকের যন্ত্রাংশগুলো এর ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা, মরিচা প্রতিরোধ ক্ষমতা, স্বল্প তাপীয় প্রসারণ এবং তাপ নিরোধক বৈশিষ্ট্যের মাধ্যমে সেমিকন্ডাক্টর যন্ত্রপাতির যেকোনো কঠোর চাহিদা পূরণ করতে পারে। সিরামিক উচ্চ তাপমাত্রা, ভ্যাকুয়াম বা ক্ষয়কারী গ্যাসের মতো পরিবেশে বিভিন্ন ধরণের সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন যন্ত্রপাতিতে দীর্ঘ সময় ধরে কাজ করতে পারে।
উচ্চ-বিশুদ্ধ অ্যালুমিনা পাউডার থেকে তৈরি এবং কোল্ড আইসোস্ট্যাটিক প্রেসিং, উচ্চ-তাপমাত্রার সিন্টারিং ও প্রিসিশন ফিনিশিং দ্বারা প্রক্রিয়াজাত হওয়ায়, এটি ±০.০০১ মিমি পর্যন্ত মাত্রিক সহনশীলতা, Ra ০.১ পৃষ্ঠতল ফিনিশ এবং ১৬০০℃ পর্যন্ত তাপমাত্রা প্রতিরোধ ক্ষমতা অর্জন করতে পারে।
-
Al2O3 সিরামিক ওয়েফার চাকের কাস্টমাইজড প্রক্রিয়াকরণ
কোল্ড আইসোস্ট্যাটিক প্রেসিং দ্বারা গঠিত এবং উচ্চ তাপমাত্রায় সিন্টারিং করার পর, সূক্ষ্মভাবে মেশিনিং ও পলিশ করা সিরামিকের যন্ত্রাংশগুলো এর ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা, মরিচা প্রতিরোধ ক্ষমতা, স্বল্প তাপীয় প্রসারণ এবং তাপ নিরোধক বৈশিষ্ট্যের মাধ্যমে সেমিকন্ডাক্টর যন্ত্রপাতির যেকোনো কঠোর চাহিদা পূরণ করতে পারে। সিরামিক উচ্চ তাপমাত্রা, ভ্যাকুয়াম বা ক্ষয়কারী গ্যাসের মতো পরিবেশে বিভিন্ন ধরণের সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন যন্ত্রপাতিতে দীর্ঘ সময় ধরে কাজ করতে পারে।
উচ্চ-বিশুদ্ধ অ্যালুমিনা পাউডার থেকে তৈরি এবং কোল্ড আইসোস্ট্যাটিক প্রেসিং, উচ্চ-তাপমাত্রার সিন্টারিং ও প্রিসিশন ফিনিশিং দ্বারা প্রক্রিয়াজাত হওয়ায়, এটি ±০.০০১ মিমি পর্যন্ত মাত্রিক সহনশীলতা, Ra ০.১ পৃষ্ঠতল ফিনিশ এবং ১৬০০℃ পর্যন্ত তাপমাত্রা প্রতিরোধ ক্ষমতা অর্জন করতে পারে।
-
ST.CERA কাস্টমাইজড সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জাম সিরামিক প্লেট
কোল্ড আইসোস্ট্যাটিক প্রেসিং দ্বারা গঠিত এবং উচ্চ তাপমাত্রায় সিন্টারিং করার পর, সূক্ষ্মভাবে মেশিনিং ও পলিশ করা সিরামিকের যন্ত্রাংশগুলো এর ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা, মরিচা প্রতিরোধ ক্ষমতা, স্বল্প তাপীয় প্রসারণ এবং তাপ নিরোধক বৈশিষ্ট্যের মাধ্যমে সেমিকন্ডাক্টর যন্ত্রপাতির যেকোনো কঠোর চাহিদা পূরণ করতে পারে। সিরামিক উচ্চ তাপমাত্রা, ভ্যাকুয়াম বা ক্ষয়কারী গ্যাসের মতো পরিবেশে বিভিন্ন ধরণের সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন যন্ত্রপাতিতে দীর্ঘ সময় ধরে কাজ করতে পারে।
উচ্চ-বিশুদ্ধ অ্যালুমিনা পাউডার থেকে তৈরি এবং কোল্ড আইসোস্ট্যাটিক প্রেসিং, উচ্চ-তাপমাত্রার সিন্টারিং ও প্রিসিশন ফিনিশিং দ্বারা প্রক্রিয়াজাত হওয়ায়, এটি ±০.০০১ মিমি পর্যন্ত মাত্রিক সহনশীলতা, Ra ০.১ পৃষ্ঠতল ফিনিশ এবং ১৬০০℃ পর্যন্ত তাপমাত্রা প্রতিরোধ ক্ষমতা অর্জন করতে পারে।
-
৩০০ মিমি ওয়েফার প্রসেসিংয়ের জন্য ১২-ইঞ্চি অ্যালুমিনা ভ্যাকুয়াম চাক
সেন্ট সেরার ১২-ইঞ্চি ভ্যাকুয়াম চাকটি ৩০০ মিমি ওয়েফার হ্যান্ডলিংয়ের জন্য ৯৯.৮% উচ্চ-বিশুদ্ধ অ্যালুমিনা (Al₂O₃) দিয়ে নিখুঁতভাবে তৈরি করা হয়েছে। চাকটির একটি সূক্ষ্ম খাঁজযুক্ত পৃষ্ঠ (খাঁজের প্রস্থ ০.৫–১.০ মিমি, পিচ ২–৩ মিমি) রয়েছে, যা সম্পূর্ণ ৩০০ মিমি ব্যাস জুড়ে ভ্যাকুয়ামের সুষম বণ্টন নিশ্চিত করে। এর সমতলতা ৫ মাইক্রোমিটারের মধ্যে বজায় থাকে, যা ডাইসিং, ব্যাকসাইড গ্রাইন্ডিং এবং ইন্সপেকশনের সময় ওয়েফারকে বেঁকে যাওয়া ছাড়াই স্থির রাখতে সাহায্য করে। উপাদানটির উচ্চ ফ্লেক্সারাল স্ট্রেংথ (৩৬১ এমপিএ) এবং হার্ডনেস (১৬ জিপিএ) বারবার ভ্যাকুয়াম ব্যবহারের পরেও দীর্ঘমেয়াদী ডাইমেনশনাল স্ট্যাবিলিটি নিশ্চিত করে।
-
সমন্বিত ভ্যাকুয়াম চ্যানেল সহ অ্যালুমিনা সিরামিক এন্ড এফেক্টর
সেন্ট সেরার অ্যালুমিনা ভ্যাকুয়াম এন্ড এফেক্টরটি ৯৯.৮% উচ্চ-বিশুদ্ধ অ্যালুমিনা বডির মধ্যে সরাসরি নির্ভুলভাবে মেশিনিং করা ভ্যাকুয়াম চ্যানেল এবং সাকশন হোলগুলিকে একীভূত করে। এই ডিজাইনটি বাহ্যিক ভ্যাকুয়াম প্যাডের প্রয়োজনীয়তা দূর করে, যার ফলে অভিন্ন ধারণ বল সহ সরাসরি ওয়েফার পিকআপ করা সম্ভব হয়। উপাদানটির উচ্চ ফ্লেক্সারাল স্ট্রেংথ (৩৬১ MPa) এবং হার্ডনেস (১৬ GPa) বারবার ভ্যাকুয়াম চক্রের অধীনে দীর্ঘমেয়াদী মাত্রিক স্থিতিশীলতা নিশ্চিত করে। প্যাড এলাকা জুড়ে সমতলতা ১০ μm-এর মধ্যে বজায় রাখা হয়, যা ওয়েফারের উপর চাপ এবং ভাঙন প্রতিরোধ করে। OEM রোবট আর্মের সাথে সহজে সংযুক্ত করার জন্য ভ্যাকুয়াম পোর্টগুলি পিছনের মাউন্টিং ফ্ল্যাঞ্জে অবস্থিত।
-
স্থির-সংবেদনশীল ওয়েফার হ্যান্ডলিংয়ের জন্য ESD-নিরাপদ অ্যালুমিনা সিরামিক যন্ত্রাংশ
সেন্ট সেরার ইএসডি (ইলেকট্রোস্ট্যাটিক ডিসচার্জ) নিরাপদ অ্যালুমিনা সিরামিক পার্টস ৯৯.৮% উচ্চ-বিশুদ্ধ Al₂O₃ থেকে তৈরি করা হয়, যার পৃষ্ঠের রোধ ক্ষমতা (10⁶–10⁹ Ω/sq) একটি স্বত্বাধিকারযুক্ত ডোপিং বা কোটিং প্রক্রিয়ার মাধ্যমে নির্দিষ্ট করা হয়। এই পার্টসগুলো কার্যকরভাবে স্থির চার্জ অপসারিত করে, যা সংবেদনশীল সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার এবং ডিভাইসগুলোকে ইলেকট্রোস্ট্যাটিক ক্ষতি থেকে রক্ষা করে। মূল উপাদানটি তার উচ্চ ফ্লেক্সারাল স্ট্রেংথ (৩৬১ MPa), কাঠিন্য (১৬ GPa), এবং ডাইইলেকট্রিক স্ট্রেংথ (১৫×১০⁶ V/m) ধরে রাখে। ইএসডি-নিরাপদ সিরামিক পার্টসগুলোর মধ্যে রয়েছে এন্ড ইফেক্টর, লিফট পিন, গাইড রেল, এবং ফ্যাব অটোমেশনের জন্য কাস্টম ফিক্সচার।
