-
Al2O3 সিরামিক ওয়েফার চাকের কাস্টমাইজড প্রক্রিয়াকরণ
কোল্ড আইসোস্ট্যাটিক প্রেসিং দ্বারা গঠিত এবং উচ্চ তাপমাত্রায় সিন্টারিং করার পর, সূক্ষ্মভাবে মেশিনিং ও পলিশ করা সিরামিকের যন্ত্রাংশগুলো এর ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা, মরিচা প্রতিরোধ ক্ষমতা, স্বল্প তাপীয় প্রসারণ এবং তাপ নিরোধক বৈশিষ্ট্যের মাধ্যমে সেমিকন্ডাক্টর যন্ত্রপাতির যেকোনো কঠোর চাহিদা পূরণ করতে পারে। সিরামিক উচ্চ তাপমাত্রা, ভ্যাকুয়াম বা ক্ষয়কারী গ্যাসের মতো পরিবেশে বিভিন্ন ধরণের সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন যন্ত্রপাতিতে দীর্ঘ সময় ধরে কাজ করতে পারে।
উচ্চ-বিশুদ্ধ অ্যালুমিনা পাউডার থেকে তৈরি এবং কোল্ড আইসোস্ট্যাটিক প্রেসিং, উচ্চ-তাপমাত্রার সিন্টারিং ও প্রিসিশন ফিনিশিং দ্বারা প্রক্রিয়াজাত হওয়ায়, এটি ±০.০০১ মিমি পর্যন্ত মাত্রিক সহনশীলতা, Ra ০.১ পৃষ্ঠতল ফিনিশ এবং ১৬০০℃ পর্যন্ত তাপমাত্রা প্রতিরোধ ক্ষমতা অর্জন করতে পারে।
-
ST.CERA কাস্টমাইজড সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জাম সিরামিক প্লেট
কোল্ড আইসোস্ট্যাটিক প্রেসিং দ্বারা গঠিত এবং উচ্চ তাপমাত্রায় সিন্টারিং করার পর, সূক্ষ্মভাবে মেশিনিং ও পলিশ করা সিরামিকের যন্ত্রাংশগুলো এর ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা, মরিচা প্রতিরোধ ক্ষমতা, স্বল্প তাপীয় প্রসারণ এবং তাপ নিরোধক বৈশিষ্ট্যের মাধ্যমে সেমিকন্ডাক্টর যন্ত্রপাতির যেকোনো কঠোর চাহিদা পূরণ করতে পারে। সিরামিক উচ্চ তাপমাত্রা, ভ্যাকুয়াম বা ক্ষয়কারী গ্যাসের মতো পরিবেশে বিভিন্ন ধরণের সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন যন্ত্রপাতিতে দীর্ঘ সময় ধরে কাজ করতে পারে।
উচ্চ-বিশুদ্ধ অ্যালুমিনা পাউডার থেকে তৈরি এবং কোল্ড আইসোস্ট্যাটিক প্রেসিং, উচ্চ-তাপমাত্রার সিন্টারিং ও প্রিসিশন ফিনিশিং দ্বারা প্রক্রিয়াজাত হওয়ায়, এটি ±০.০০১ মিমি পর্যন্ত মাত্রিক সহনশীলতা, Ra ০.১ পৃষ্ঠতল ফিনিশ এবং ১৬০০℃ পর্যন্ত তাপমাত্রা প্রতিরোধ ক্ষমতা অর্জন করতে পারে।
-
৩০০ মিমি ওয়েফার প্রসেসিংয়ের জন্য ১২-ইঞ্চি অ্যালুমিনা ভ্যাকুয়াম চাক
সেন্ট সেরার ১২-ইঞ্চি ভ্যাকুয়াম চাকটি ৩০০ মিমি ওয়েফার হ্যান্ডলিংয়ের জন্য ৯৯.৮% উচ্চ-বিশুদ্ধ অ্যালুমিনা (Al₂O₃) দিয়ে নিখুঁতভাবে তৈরি করা হয়েছে। চাকটির একটি সূক্ষ্ম খাঁজযুক্ত পৃষ্ঠ (খাঁজের প্রস্থ ০.৫–১.০ মিমি, পিচ ২–৩ মিমি) রয়েছে, যা সম্পূর্ণ ৩০০ মিমি ব্যাস জুড়ে ভ্যাকুয়ামের সুষম বণ্টন নিশ্চিত করে। এর সমতলতা ৫ মাইক্রোমিটারের মধ্যে বজায় থাকে, যা ডাইসিং, ব্যাকসাইড গ্রাইন্ডিং এবং ইন্সপেকশনের সময় ওয়েফারকে বেঁকে যাওয়া ছাড়াই স্থির রাখতে সাহায্য করে। উপাদানটির উচ্চ ফ্লেক্সারাল স্ট্রেংথ (৩৬১ এমপিএ) এবং হার্ডনেস (১৬ জিপিএ) বারবার ভ্যাকুয়াম ব্যবহারের পরেও দীর্ঘমেয়াদী ডাইমেনশনাল স্ট্যাবিলিটি নিশ্চিত করে।
-
সেমিকন্ডাক্টর প্রোব সরঞ্জামের জন্য সিরামিক খুচরা যন্ত্রাংশ
কোল্ড আইসোস্ট্যাটিক প্রেসিং দ্বারা গঠিত এবং উচ্চ তাপমাত্রায় সিন্টারিং করার পর, সূক্ষ্মভাবে মেশিনিং ও পলিশ করা সিরামিকের যন্ত্রাংশগুলো এর ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা, মরিচা প্রতিরোধ ক্ষমতা, স্বল্প তাপীয় প্রসারণ এবং তাপ নিরোধক বৈশিষ্ট্যের মাধ্যমে সেমিকন্ডাক্টর যন্ত্রপাতির যেকোনো কঠোর চাহিদা পূরণ করতে পারে। সিরামিক উচ্চ তাপমাত্রা, ভ্যাকুয়াম বা ক্ষয়কারী গ্যাসের মতো পরিবেশে বিভিন্ন ধরণের সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন যন্ত্রপাতিতে দীর্ঘ সময় ধরে কাজ করতে পারে।
উচ্চ-বিশুদ্ধ অ্যালুমিনা পাউডার থেকে তৈরি এবং কোল্ড আইসোস্ট্যাটিক প্রেসিং, উচ্চ-তাপমাত্রার সিন্টারিং ও প্রিসিশন ফিনিশিং দ্বারা প্রক্রিয়াজাত হওয়ায়, এটি ±০.০০১ মিমি পর্যন্ত মাত্রিক সহনশীলতা, Ra ০.১ পৃষ্ঠতল ফিনিশ এবং ১৬০০℃ পর্যন্ত তাপমাত্রা প্রতিরোধ ক্ষমতা অর্জন করতে পারে।
-
সিরামিক প্লেট সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জাম বাহক
কোল্ড আইসোস্ট্যাটিক প্রেসিং দ্বারা গঠিত এবং উচ্চ তাপমাত্রায় সিন্টারিং করার পর, সূক্ষ্মভাবে মেশিনিং ও পলিশ করা সিরামিকের যন্ত্রাংশগুলো এর ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা, মরিচা প্রতিরোধ ক্ষমতা, স্বল্প তাপীয় প্রসারণ এবং তাপ নিরোধক বৈশিষ্ট্যের মাধ্যমে সেমিকন্ডাক্টর যন্ত্রপাতির যেকোনো কঠোর চাহিদা পূরণ করতে পারে। সিরামিক উচ্চ তাপমাত্রা, ভ্যাকুয়াম বা ক্ষয়কারী গ্যাসের মতো পরিবেশে বিভিন্ন ধরণের সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন যন্ত্রপাতিতে দীর্ঘ সময় ধরে কাজ করতে পারে।
উচ্চ-বিশুদ্ধ অ্যালুমিনা পাউডার থেকে তৈরি এবং কোল্ড আইসোস্ট্যাটিক প্রেসিং, উচ্চ-তাপমাত্রার সিন্টারিং ও প্রিসিশন ফিনিশিং দ্বারা প্রক্রিয়াজাত হওয়ায়, এটি ±০.০০১ মিমি পর্যন্ত মাত্রিক সহনশীলতা, Ra ০.১ পৃষ্ঠতল ফিনিশ এবং ১৬০০℃ পর্যন্ত তাপমাত্রা প্রতিরোধ ক্ষমতা অর্জন করতে পারে।
-
সেমিকন্ডাক্টর সরঞ্জাম সিরামিক খুচরা যন্ত্রাংশ
কোল্ড আইসোস্ট্যাটিক প্রেসিং দ্বারা গঠিত এবং উচ্চ তাপমাত্রায় সিন্টারিং করার পর, সূক্ষ্মভাবে মেশিনিং ও পলিশ করা সিরামিকের যন্ত্রাংশগুলো এর ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা, মরিচা প্রতিরোধ ক্ষমতা, স্বল্প তাপীয় প্রসারণ এবং তাপ নিরোধক বৈশিষ্ট্যের মাধ্যমে সেমিকন্ডাক্টর যন্ত্রপাতির যেকোনো কঠোর চাহিদা পূরণ করতে পারে। সিরামিক উচ্চ তাপমাত্রা, ভ্যাকুয়াম বা ক্ষয়কারী গ্যাসের মতো পরিবেশে বিভিন্ন ধরণের সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদন যন্ত্রপাতিতে দীর্ঘ সময় ধরে কাজ করতে পারে।
উচ্চ-বিশুদ্ধ অ্যালুমিনা পাউডার থেকে তৈরি এবং কোল্ড আইসোস্ট্যাটিক প্রেসিং, উচ্চ-তাপমাত্রার সিন্টারিং ও প্রিসিশন ফিনিশিং দ্বারা প্রক্রিয়াজাত হওয়ায়, এটি ±০.০০১ মিমি পর্যন্ত মাত্রিক সহনশীলতা, Ra ০.১ পৃষ্ঠতল ফিনিশ এবং ১৬০০℃ পর্যন্ত তাপমাত্রা প্রতিরোধ ক্ষমতা অর্জন করতে পারে।
-
উচ্চ-তাপমাত্রার চেম্বার সিল করার জন্য উচ্চ-বিশুদ্ধ অ্যালুমিনা সিরামিক সিল রিং
সেন্ট সেরার সিরামিক সিল রিং এমন চরম পরিবেশে পলিমার ও-রিং-এর বিকল্প হিসেবে ডিজাইন করা হয়েছে, যেখানে ইলাস্টোমার ক্ষয়প্রাপ্ত হয়। ৯৯.৮% উচ্চ-বিশুদ্ধ অ্যালুমিনা (Al₂O₃) থেকে তৈরি এই অনমনীয় সিল রিংটি স্ট্যাটিক সিলিং অ্যাপ্লিকেশনে ব্যবহৃত হয় — সাধারণত একটি নরম ধাতু বা গ্রাফাইট গ্যাসকেটের সাথে যুক্ত করে — যা ৮০০°C পর্যন্ত তাপমাত্রায় এবং আক্রমণাত্মক প্লাজমা বা রাসায়নিক পরিবেশে নির্ভরযোগ্য ভ্যাকুয়াম বা গ্যাস ধারণ নিশ্চিত করে। এই উপাদানটি শূন্য গ্যাস নির্গমন, উচ্চ সংকোচন শক্তি (অন্তর্নিহিত নমন শক্তি ৩৬১ MPa) এবং রাসায়নিক নিষ্ক্রিয়তা (HF ছাড়া হ্যালোজেন, অ্যাসিড এবং ক্ষারের প্রতি প্রতিরোধী) প্রদান করে। নির্ভুলভাবে ল্যাপ করা সিলিং পৃষ্ঠ (সমতলতা ≤৫ μm, পৃষ্ঠের অমসৃণতা Ra ≤০.২ μm) সংযোগকারী ধাতু বা সিরামিক উপাদানের সাথে লিক-রোধী সংযোগ নিশ্চিত করে।
-
প্লাজমা এচ এবং সিভিডি সিস্টেমের জন্য উচ্চ-বিশুদ্ধ অ্যালুমিনা চেম্বার ফোকাস রিং
সেন্ট সেরার চেম্বার ফোকাস রিং হলো একটি অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ প্রসেস কিট উপাদান, যা প্লাজমা এচ, সিভিডি এবং পিভিডি সেমিকন্ডাক্টর যন্ত্রপাতিতে ব্যবহৃত হয়। ৯৯.৮% উচ্চ-বিশুদ্ধ অ্যালুমিনা (Al₂O₃) দিয়ে তৈরি এই রিংটি ওয়েফারের প্রান্তকে ঘিরে রাখে, যা প্লাজমাকে আবদ্ধ করে এবং আয়নের কৌণিক বন্টনকে অনুকূল করে তোলে। এর ফলে ওয়েফারের পৃষ্ঠ জুড়ে এচের সমরূপতা উন্নত হয়। এই উপাদানটি অসাধারণ প্লাজমা প্রতিরোধ ক্ষমতা, উচ্চ ডাইইলেকট্রিক শক্তি (১৫×১০⁶ V/m) এবং ১৬০০°C পর্যন্ত তাপীয় স্থিতিশীলতা প্রদান করে, যা ক্ষতিকর ফ্লোরিন- বা ক্লোরিন-ভিত্তিক প্লাজমা পরিবেশে দীর্ঘমেয়াদী নির্ভরযোগ্যতা নিশ্চিত করে। এর নিখুঁতভাবে গ্রাউন্ড করা অভ্যন্তরীণ/বাহ্যিক ব্যাস এবং সমতলতা (≤১০ μm) ওয়েফারের প্রান্তের সঠিক অবস্থান নিশ্চিত করে, যা প্রান্তের ত্রুটি এবং কণা তৈরি হওয়া কমায়।
-
CVD / PVD প্রসেস চেম্বারের জন্য উচ্চ-বিশুদ্ধ অ্যালুমিনা সিরামিক রিং
সেন্ট সেরার সিরামিক রিংটি বিশেষভাবে সিভিডি (কেমিক্যাল ভেপার ডিপোজিশন) এবং পিভিডি (ফিজিক্যাল ভেপার ডিপোজিশন) প্রসেস চেম্বারে ব্যবহারের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে। ৯৯.৮% উচ্চ-বিশুদ্ধ অ্যালুমিনা (Al₂O₃) থেকে তৈরি এই রিংটি চেম্বার লাইনার, ফোকাস রিং বা প্রসেস কিট কম্পোনেন্ট হিসেবে কাজ করে প্লাজমাকে আবদ্ধ রাখতে এবং চেম্বারের দেয়ালকে ক্ষয় থেকে রক্ষা করতে। এই উপাদানটি চমৎকার প্লাজমা প্রতিরোধ ক্ষমতা, উচ্চ ডাইইলেকট্রিক স্ট্রেংথ (১৫×১০⁶ V/m) এবং ১৬০০°C পর্যন্ত তাপীয় স্থিতিশীলতা প্রদান করে, যা ক্ষতিকর ফ্লোরিন-ভিত্তিক প্লাজমা পরিবেশে দীর্ঘ পরিষেবা জীবন নিশ্চিত করে। এর সুনির্দিষ্ট মাত্রিক সহনশীলতা (ID/OD-তে ±০.০৫ মিমি) এবং সমতলতা (≤১০ μm) ওয়েফারের প্রান্তের অবস্থানকে সামঞ্জস্যপূর্ণ রাখে, যা ডিপোজিশনের সমরূপতা উন্নত করে এবং কণার সৃষ্টি কমায়।
-
বিকৃত ওয়েফার হ্যান্ডলিংয়ের জন্য ছিদ্রযুক্ত সিরামিক ভ্যাকুয়াম চাক
সেন্ট সেরার ছিদ্রযুক্ত সিরামিক চাকটি উচ্চ-বিশুদ্ধ অ্যালুমিনা থেকে তৈরি করা হয়েছে, যার ৩০-৪৫% সুষম উন্মুক্ত ছিদ্রতা এবং ১০ থেকে ১০০ মাইক্রোমিটার পর্যন্ত ছিদ্রের আকার রয়েছে। প্রচলিত খাঁজকাটা চাকের বিপরীতে, এর ছিদ্রযুক্ত পৃষ্ঠটি ওয়েফারের পেছনের পুরো অংশ জুড়ে ভ্যাকুয়াম বিতরণ করে, যা বাঁকানো, পাতলা বা একক ওয়েফারকে প্রান্ত উঠে যাওয়া বা ভেঙে যাওয়া ছাড়াই কার্যকরভাবে ধরে রাখে। এই মৃদু ভ্যাকুয়াম (যা রেস্ট্রিক্টরের মাধ্যমে সামঞ্জস্য করা যায়) পেছনের অংশে দাগ পড়াও প্রতিরোধ করে।
-
পাতলা ওয়েফার হ্যান্ডলিংয়ের জন্য অ্যালুমিনা-ভিত্তিক ছিদ্রযুক্ত সিরামিক ভ্যাকুয়াম চাক
সেন্ট সেরার অ্যালুমিনা-ভিত্তিক ছিদ্রযুক্ত চাকটি ৯৯.৬% উচ্চ-বিশুদ্ধ Al₂O₃ থেকে তৈরি করা হয়, যার ৩০-৪৫% পর্যন্ত নিয়ন্ত্রিত খোলা ছিদ্রতা এবং ১০ থেকে ৫০ μm পর্যন্ত সুষম ছিদ্রের আকার রয়েছে। খাঁজকাটা চাকের বিপরীতে, এর ছিদ্রযুক্ত পৃষ্ঠটি ওয়েফারের পেছনের পুরো অংশ জুড়ে ভ্যাকুয়াম বিতরণ করে, যা প্রান্তে দাগ পড়া রোধ করে এবং অতি-পাতলা (≤১০০ μm) বা বাঁকা ওয়েফারকে আলতোভাবে ধরে রাখতে সক্ষম করে। এই উপাদানটি ≥২৫০ MPa নমন শক্তি এবং বাতাসে ৪০০°C পর্যন্ত তাপীয় স্থিতিশীলতা প্রদান করে।
-
CVD/PVD শাওয়ারহেডের জন্য অ্যালুমিনা গ্যাস বিতরণ প্লেট
সেন্ট সেরার গ্যাস ডিস্ট্রিবিউশন প্লেট (শাওয়ারহেড) উচ্চ-বিশুদ্ধ ৯৯.৮% অ্যালুমিনা সিরামিক থেকে নিখুঁতভাবে মেশিনিং করে তৈরি করা হয়। এতে ০.৩–১.৫ মিমি ব্যাসের অসংখ্য মাইক্রো-ছিদ্র রয়েছে, যা CVD, PVD বা ALD প্রক্রিয়ার সময় ওয়েফারের পৃষ্ঠ জুড়ে গ্যাসের সুষম প্রবাহ নিশ্চিত করে। প্লেটটির উচ্চ ডাইইলেকট্রিক স্ট্রেংথ (>১৫×১০⁶ V/m) এবং প্লাজমা রেজিস্ট্যান্স এটিকে সেমিকন্ডাক্টর থিন-ফিল্ম ডিপোজিশনের জন্য অপরিহার্য করে তোলে।
